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FAN-090/FAN-170/FAN-200 日本furukawa氮化铝陶瓷零件高导热率耐腐蚀

型号
FAN-090/FAN-170/FAN-200
参数
供货周期:一个月 应用领域:环保,能源,电子,电气,综合
深圳秋山工业设备有限公司

中级会员1年 

经销商

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深圳市秋山贸易有限公司是一家从事从事机电设备咨询,科学仪器咨询,机械加工设备咨询等业务的公司,成立于2017年06月16日,一般经营项目是:从事机电设备、电子能源相关设备、食品加工机械设备、粉体制造设备、电子计测仪器、科学仪器、机械加工设备、光电产品、检测仪器的销售及技术咨询;橡塑制品、金属制品、化工产品(危险品除外)的销售;经营电子商务;国内贸易,货物及技术进出口(法律、行政法规、决定规定在登记前须经批准的项目除外)。

详细信息

日本furukawa氮化铝陶瓷零件高导热率耐腐蚀 FAN-090/FAN-170/FAN-200 特点介绍


半导体制造设备(用于前端工艺)需要应对更小的设计规则和更大的晶圆直径(300mmφ或更大)。为此,构成设备的部件材料的选择极其重要。

氮化铝(AlN)是一种平衡良好的材料,具有优异的导热性、热辐射(散热)、抗热震性和电绝缘性,并且具有与硅晶片相匹配的热膨胀性。

利用古河电子的烧成技术,我们还能够制造550mmφ氮化铝陶瓷部件。我们还将应对更大直径的晶圆。

具有高导热率和热发射率,受热均匀性高。

它具有抗热冲击能力,可以承受快速加热和冷却。

与硅相匹配的低热膨胀。

对氟气具有优异的耐腐蚀性。


日本furukawa氮化铝陶瓷零件高导热率耐腐蚀 FAN-090/FAN-170/FAN-200 规格参数


半导体制造装置(CVD、蚀刻等)用各种基座、静电吸盘、均热板、真空吸盘、加热器

虚拟晶圆

目标

化合物半导体制造设备零部件

・熱伝導・熱放射率が大きく、均熱性が高い。・熱衝撃に強く、急熱・急冷に耐える。・Si にマッチした低熱膨張で、温度変化によるウェーハの変形を防ぎ、また、デポ膜の剥離によるパーティクル発生を低減する。・フッ素系ガス耐食性に優れる。


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产品参数

供货周期 一个月
应用领域 环保,能源,电子,电气,综合
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