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PPS8500 池田屋ORC欧阿希 PPS-8500半导体曝光设备仪器
池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年,位于广东省深圳市,是一家从事中日贸易的企业。公司经过多年的发展,已整
合多方海外厂商渠道,有稳定的合作关系,为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本
科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、资深的管理团队,通过全体员工的不懈努力,凭借在工业品领域的专业水平和成熟
技术,服务于电子消费类、半导体,液晶光电,汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
“捕捉变化,开拓未来"
~通过科学技术的发展和未来的人才培养为社会做贡献~
我们以“教育科学设备领域"和“研究科学设备领域"为支柱,在本公司,全体员工以“了解变化,开拓未来"的挑战精神和
“用人、育人"的企业文化为基础,以池田屋有的方式响应客户的需求。
池田屋ORC欧阿希 PPS-8500半导体曝光设备仪器
池田屋ORC欧阿希 PPS-8500半导体曝光设备仪器
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量(照度/光量)。
大型面板专用步进机
兼容因热处理而高度翘曲的电路板以及具有扭曲的重新布线表面的电路板。
能够利用最佳的吸附方式吸附并输送翘曲的工件
具有多点对焦的自动对焦功能
支持面板伸缩的对齐功能
配备分割全局对准、逐个镜头(逐个芯片)对准和标线缩放功能
兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光(自动切换配方GHI线GH线、I线联动)配备变量NA功能(0.16和0.1变量)标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光(自动切换配方GHI线GH线、I线联动)配备变量NA功能(0.16和0.1变量)标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响兼容各种应用
兼容WL-CSP、IGBT、CIS等6/8/12英寸光刻机
宽带曝光(自动切换配方GHI线GH线、I线联动)配备变量NA功能(0.16和0.1变量)标线设计格式最多 8 个区域光学系统免受周围环境中的抗蚀剂脱气和化学物质的影响
模型 | PPS-8500 |
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面板尺寸 | 510 x 515mm(最大) |
解决 | 2.0 µmL/S(2.0 µm 抗蚀剂厚度) |
NA(数值孔径) | 0.16、0.1 变量 |
减速比 | 1:1 |
场地大小 | 52毫米×33毫米 |
曝光波长 | ghi-Line gh-line i-line(食谱链接) |
标线尺寸 | 6寸 |
叠加精度 | ≤1.0 µm(|平均|+3σ) |
设备尺寸/重量 | (宽)3,000×(深)4,800×(高)2,500mm / 11,000kg |