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VUM3500 全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
- 型号
- VUM3500
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池田屋实业(深圳)有限公司成立于2015年，位于广东省深圳市，是一家从事中日贸易的企业。
公司经过多年的发展，已整合多方海外厂商渠道，有稳定的合作关系，为企业提供售卖、维修、售后等一系列节能降本的服务。池田屋主要经营日本科学仪器设备、实验室仪器、各类检测仪器、测量仪器、食品设备、光学设备、精密传感器等各类工业流通产品。
公司拥有专业的销售团队、技术团队、管理团队，通过全体员工的不懈努力，凭借在工业品领域的专业水平和成熟技术，服务于电子消费类、半导体，液晶光电，汽车业、造船业、地铁、等专业用户里的世界500强企业。
详细信息
全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
全新ORC欧阿希 VUM-3500半导体用UV照射设备
它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。它是一种小型轻便的手持式测量仪器。适用于管理生产现场配备紫外线灯的设备。
请使用它来管理紫外线灯的紫外线照射量（照度/光量）。
采用254nm波长， 去除电荷。
单波长允许低温处理。
用低入射角紫外线有效照射目标区域。
提高了LSI的成品率和可靠性。
闪存、其他非易失性存储器、图像传感器等的电荷去除和数据擦除。
这是一种小型、轻量的手持式，可让您轻松管理曝光设备的照度和光量。可以轻松测量紫外线照度和光强度。根据您正在使用（或计划使用）的光源以及抗蚀剂的灵敏度等选择UV-25、35或42的接收器。测量数据可通过RS-232C通信输出传输。它还具有模拟输出。
| 模型 | VUM-3500 |
|---|---|
| 晶圆尺寸 | Φ300毫米（标准） |
| 同时处理数 | 15 件 |
| 盒式磁带格式 | 晶圆传送盒 |
| 晶圆运输 | 自动输送 |
| 灯数量 | 20 件 |
| 照度测量 | 自动测量 |
