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TLB-360FM/485FM 全自动液体蜡贴片机
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述:
全自动液体蜡贴片机是一种高度自动化的设备,主要用于在半导体制造过程中,将晶片(如硅片)精确地键合到载具(如陶瓷盘)上。该设备通过自动化流程,如滴蜡、甩蜡、烘烤、贴片、加压和冷却等步骤,完成晶片的贴附工作。
2. 设备用途/原理:
全自动液体蜡贴片机集成了机-电-光和计算机控制系统技术,通过精密的机械手或传动系统,实现晶片的自动取放、定位、涂蜡、烘烤和压片等操作。整个过程中,设备能够精确地控制每个步骤的参数,如甩蜡转速、烘烤温度、压片力度等,以确保晶片贴附的精度和质量。全自动液体蜡贴片机广泛应用于半导体制造、微电子封装、光电技术等领域,是这些行业中关键设备之一。它能够提高生产效率、降低生产成本、提升产品质量,并有助于推动相关产业的技术进步和产业升级。
3. 设备特点
1 高度自动化:全自动液体蜡贴片机能够实现从晶片取放到最终贴附的全程自动化,减少人工干预,提高生产效率和一致性。
2 高精度:设备采用先进的控制系统和精密的机械结构,能够确保晶片贴附的精度和位置准确性。
3 多功能性:通过搭配不同的夹具和工艺参数,该设备可以适应不同尺寸、不同厚度的晶片贴附需求。
4 易操作性:设备通常采用PLC触摸屏控制,界面友好,操作简便,易于上手和维护。
4. 性能参数
规格/参数 | TLB-360FM | TLB-485FM |
晶圆尺寸 | 2-6 inch | 4-8 inch |
陶瓷盘规格 | OD360 mm | OD485 mm |
上片方式 | 全自动 | 全自动 |
清洗工位 | 纯水+PVA刷 | 纯水+PVA刷 |
甩蜡转速 | 0-3000 RPM | 0-3000 RPM |
烘烤温度 | Max350℃ | Max350℃ |
压片装置 | 气囊+气缸二段压片 | 气囊+气缸二段压片 |
加热温度 | Max250℃ | Max250℃ |
陶瓷盘冷却系统 | 有 | 有 |