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HF5000 日立电子显微镜聚光镜球差电镜
- 型号
- HF5000
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详细信息
日立电子显微镜聚光镜球差电镜
日立电子显微镜聚光镜球差电镜
特点
标配日立生产的照射系统球差校正器（附自动校正功能）
搭载具有高辉度、高稳定性的冷场FE电子枪
镜体和电源等的高稳定性使机体的性能大幅度提升
观察像差校正SEM/STEM图像的同时观察原子分辨率SE图像
采用侧面放入样品的新型样品台结构以及样品杆
支持高立体角EDX*的对称配置（对称Dual SDD*）
采用全新构造的机体外壳盖
配备日立生产的高性能样品杆*
*选项
高辉度冷场FE电子枪×高稳定性×日立制球面像差校正器
以长年积累起来的高辉度冷场FE电子源技术为基础，进行优化，进一步实现电子枪的高度稳定性。
此外，还更新了镜体，电源系统和样品台，以支持观察亚Å图像，并提升了机械和电气稳定性，然后与日立公司的球差校正器结合使用。
Si（211）单晶体HAADF-STEM图像（左）和图像强度曲线分布（右下）、FFT功率谱（右上）
支持高立体角EDX*的对称Dual SDD*
支持双重配置100 mm2 SDD检测器，以实现更高的灵敏度和处理能力进行EDX元素分析。
由于第二检测器位于第一检测器的对面位置，因此，几乎不会因为样品倾斜，导致X射线中的信号检测量发生变化。所以，即使是结晶性样品，也不用顾忌信号量，可按照样品的方向与位置进行元素分析。
此外，对于电子束敏感样品、低X光辐射量的样品，除了原子列映射，在低倍、广视野的高精细映射等领域也极为有效。
GaAs（110）的原子柱EDX映射
像差校正SEM图像/STEM图像 同时观察
配有标配二次电子检测器，可同时观察像差校正SEM/STEM图像。通过同时观察样品的表面和内部结构，可以掌握样品的三维构造。
在像差校正SEM图像中，除了可以通过校正球差来提高分辨率之外，还可以获取更真实地样品表面图像
