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UX50 晶圆探测器
- 型号
- UX50
冷热台，快速退火炉，光刻机，纳米压印、磁控溅射，电子束蒸发
深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
详细信息
UX50
产品系列: UX 系列
应用行业: 汽车制造, 航空航天, 科研开发, 焊缝检测, 铸造, 增材制造
缺陷尺寸: <1mm>1mm 缺陷
样品尺寸: 小型, 中型, 大型
运行模式: 2D, 3D, 2D/3D
扩展视野、最大限度提高图像质量的CT技术
UX50搭载的强大CT技术有助于优化零件尺寸、速度和图像质量。
搭载DDA的专用锥束CT技术
QuickScan® – 连续旋转图像采集
QualityScan –开始-停止图像采集，也用于环形伪影去噪
HeliExtend – 避免锥束伪影
水平和垂直视场扩展
水平和多个垂直视场扩展的组合
搭载LDA的专用扇束CT技术
水平视场扩展，Comet Yxlon技术
确定要扫描的感兴趣区域（ROI），使用图像质量和速度的不同线距进行扫描
技术参数
| 属性 | 相关数据 |
| 样品直径 | 600 [mm] |
| 样品高度 | 850 [mm] 平板探测器 / 800 [mm] 线阵列探测器 |
| 最大样品重量 | 100 [kg] |
| X射线管 | 450 kV mini-focus |
| 探测器类型 | Flat-panel detector 4343 N 平板探测器 和/或 Comet Yxlon CTScan 3 线阵列探测器 |
| CT 模式 | Cone-beam CT锥束CT扫描, QuickScan快速扫描, QualityScan质量扫描, HeliExtend螺旋扩展扫描, SpeedMode动态变速扫描, Fan-beam CT扇束CT扫描, ScanExtend (FoV extensions)扫描扩展, Volume Crop体积裁剪 |
| 体素尺寸 | 最小至 55 [µm] |
| CT 检测范围 (3D) 平板探测器 | 570 x 850 [mm] |
| CT 检测范围 (3D) 线阵列探测器 | 600 x 800 [mm] |
| DR 检测范围 (2D) | 520 x 850 [mm] |
| Manipulation | 5 axes |
