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ELIONIX-5 超显微压痕硬度计
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1 产品概述:
超显微压痕硬度计,作为显微硬度计的一种高级形式,是专为微小、薄型和脆硬材料硬度测试设计的精密仪器。它结合了现代光学、电子技术和机械设计的最新成果,能够在极小的尺度下精确测量材料的硬度。该设备广泛应用于材料科学、机械工程、冶金、地质学、生物医学等领域,是实验室质检部门、计量院所及科研机构质量控制、材料研究的重要工具。
2 设备用途:
微小试件测试:超显微压痕硬度计特别适用于测量微小、薄型试件的硬度,如金属箔、薄膜、微小零件等。
脆硬材料测试:能够测试玻璃、玛瑙、人造宝石、陶瓷等脆硬非金属材料的硬度,满足这些材料在特殊应用中的性能评估需求。
表面加工层测试:用于电镀层、硬化层(如氧化层、渗层、涂镀层)等表面加工层的硬度测试,评估表面处理质量。
多点测量与深层分析:在细微部分进行精密定位的多点测量,以及压痕的深层测试与分析,为材料的微观力学行为研究提供数据支持。
3 设备特点
高精度测量:采用高倍率光学测量系统和先进的浮点计算方法,确保测试结果的准确性和可靠性。
无损检测:压痕小,对样品几乎无损伤,适合在狭小范围内进行多点测量。
操作便捷:配备超大屏幕和中文操作系统,操作界面友好,易于上手。
功能丰富:具备数据存储、输出功能,支持多种测试模式和数据分析方法,满足不同用户的测试需求。
稳定性强:机械结构稳定,采用高品质的光学材料和电子器件,确保设备长期稳定运行。
4 技术参数和特点:
高负载单元
・可进行5μN~2N的试验。
・适用于从金属材料到高分子材料的各种材料的硬度试验。
低负载单元
·兼容 0.5 μN 至 10 mN。
·对于软质材料(弹性模量:几GPa以下)和10nm以下压痕深度的测量具有出色的再现性和稳定性,可以对100nm以下的超薄膜进行纳米压痕测试。
・能够以0.1μm为单位进行定位
・以 2,000 倍的观察倍率测量任何位置(使用 20 倍标准物镜和数码变焦时)
・支持从 0.5 μN 到 2,000 mN 的广泛测试负载
・挡风玻璃内的温度控制在±0.1℃
・测量部件采用低热膨胀材料(nobinite)