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FTPadv Expert 薄膜计量光谱反射仪软件

型号
FTPadv Expert
深圳市矢量科学仪器有限公司

中级会员3年 

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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

 

 

 

 

 

 

 

 

详细信息

1. 产品概述

FTPadv Expert薄膜测量软件具有FTPadv标准软件中包含的用户友好和以配方为导向的操作概念。突出显示拟合参数、测量和计算的反射光谱以及主要结果的光学模型同时显示在操作屏幕上。

2. 主要功能与优势

n、k 和厚度的测量

该软件包设计用于 R(λ) 和 T(λ) 测量的高分析。

多层分析

可以测量单层薄膜和层叠的每一层的薄膜厚度和折射率。

大量的色散模型

集成色散模型用于描述所有常见材料的光学特性。通过使用快速拟合算法改变模型参数,将计算出的光谱调整为测量的光谱。

3. 灵活性和模块化

SENTECH FTPadv Expert 软件包用于光谱数据的高分析,根据反射和透射测量结果确定薄膜厚度、折射率和消光系数。它扩展了SENTECH FTPadv薄膜厚度探头的标准软件包,适用于更复杂的应用,包括光学特性未知或不稳定的材料。可以在光滑或粗糙、透明或吸收性基材上测量单个透明或半透明薄膜的薄膜厚度、折射率和消光系数。该软件允许分析复杂的层堆栈,并且可以确定堆栈的每一层的参数。

我们的FTPadv Expert薄膜测量软件具有FTPadv标准软件中包含的用户友好和以配方为导向的操作概念。突出显示拟合参数、测量和计算的反射光谱以及主要结果的光学模型同时显示在操作屏幕上。

该软件包包括一个大型且可扩展的材料库,该库基于表格材料文件以及参数化色散模型。

FTPadv Expert 软件可选用于膜厚探头 FTPadv,以及反射仪 RM 1000 和 RM 2000 软件包的一部分

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