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ESDEMC ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM)
- 型号
- ESDEMC
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EMC电磁兼容和可靠性分析仪器、仪表、设备综合服务供应商，
芯片级、板级、系统级ESD静电抗扰和EMI电磁干扰测试方案定制商，
行业涉及手机通信消费电子、汽车电子、显示行业、PCB板模组行业、芯片半导体行业，高校科研院所实验室，可为客户提供定制解决方案。
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详细信息
ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM)
1.描述
ES612A是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612A可搭配64pin/128pin多管脚自动化测试仪进行应用扩展，也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612A ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。
2.特点
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低寄生参数，具有高质量脉冲
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可定制，可扩展
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可搭配探针台进行晶圆级测试
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外置可选配的自动故障检测模块
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大尺寸触摸控制面板，固件可升级
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可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
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可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
3.应用
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用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
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HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
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HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019
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MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019
4.规格
ES612A 控制主机
| 参数 | ES612A-2K | ES612A-4K | ES612A-6K | ES612A-8K | ES612A-12K | ES612A-20K | 单位 |
| 输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 4000 | ± 10 ~ 6000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 最小输出电压步长 | 1V (500V以内)
10V (2 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (4 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (6 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (8 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (12 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (20 kV以内) | V,
kV |
| 输出电压精度 | 优于± 1 % ± 5 V | % | |||||
| 尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm | |||||
| 重量 | 5 | 6 | 6 | 6 | 6 | 7 | kg |
| 电压、电流测量 | 电压、电流测量无源探头 | ||||||
| 支持的示波器 | Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器 | ||||||
| 支持的SMU | Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列 | ||||||
外置人体模型（HBM ）波形发生模块
(根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)
| 参数 | HBM-2K | HBM-4K | HBM-6K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 单位 |
| 输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 4000 | ± 10 ~ 6000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
| 放电RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% | ||||||
| 短路峰值电流Ips | 0.67A ± 10 % 每kV | ns | |||||
| 短负荷上升时间Trs | 2 < Trs < 10 | ns | |||||
| 短负荷衰减时间Tds | 130 < Tds < 170 | ns | |||||
| 短负荷振铃Irs | < 15% of Ips | ||||||
| 500Ω负载峰值电流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | ||||||
| 500Ω负载上升时间Trr | 5 < Trr < 25 | ns | |||||
外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块
(根据ANSI/ESD SP5.6-2019)
| 参数 | HMM-8 | HMM-24 | HMM-36 | 单位 | 备注 |
| HMM第一峰值电流 | 90 | 90 | 135 | A | 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 %
IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) |
| HMM电流@ 30 ns | 48 | 48 | 72 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
| HMM电流@ 60 ns | 24 | 24 | 36 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
外置机器模型（MM ）波形发生模块
(根据ANSI/ESD STM5.2-2019)
| 参数 | MM-2 | MM-4 | 单位 | 备注 |
| 输出电压 | ±10 ~ 2000 | ±10 ~ 4000 | V | |
| 放电RC值 | C: 200 pF, R: 0 Ω | |||
| 短路负载峰值电流Ip1 | 1.75±10%每100V | A | 如果使用插座公差会不同 | |
| 短路负载Ip2 | Ip1的67% ~ 90% | A | ||
| 短路负载波形周期tpm | 66 < tpm < 90 | ns | ||
| 500 Ω负载峰值电流Ipr | 0.85 – 1.2 | A | @400V符合标准的条件 | |
| 500 Ω负载I100 | 0.23 – 0.4 | A | @400V符合标准的条件 | |
| 500 Ω负载I200 | 测量的 I100的30 -50% | A | ||
5.订购信息
| 编号 | 型号 | 描述 |
| ESD测试仪 | ||
| 1.1 | ES612A-2K | ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI |
| ES612A-4K | ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-6K | ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-8K | ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-12K | ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI | |
| ES612A-20K | ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI | |
| 1.2 | ES612A-HBM-2 | 人体模型2管脚模型, 2kV |
| ES612A-HBM-4 | 人体模型2管脚模型, 4kV | |
| ES612A-HBM-6 | 人体模型2管脚模型, 6kV | |
| ES612A-HBM-8 | 人体模型2管脚模型, 8kV | |
| ES612A-HBM-12 | 人体模型2管脚模型, 12kV | |
| ES612A-HBM-20 | 人体模型2管脚模型, 20kV | |
| 1.3 | ES612A-HMM-8 | 人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM |
| ES612A-HMM-24 | 人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM | |
| ES612A-HMM-36 | 人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM | |
| 1.4 | ES612A-MM-2 | 机器模型2管脚测试仪模型, 2kV |
| ES612A-MM-4 | 机器模型2管脚测试仪模型, 4kV | |
| 附件 | ||
| 2.1 | CT-002-T | 电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2) |
| 2.2 | ES62X-CMPS | 简易手动探针台 |
| 2.3 | XYZM | XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进 |
| 2.4 | XYZM-HBM | HBM探针臂 |
| 2.5 | XYZM-HMM | HMM探针臂(47.5R) |
| 2.6 | HBM-TC0.3 | 0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹 |
| 2.7 | HBM-TC2.5 | 2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组) |
| 2.8 | XYZM-PP048 | 0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个) |
| 2.9 | XYZM-TN1 | 钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个) |
| 第三方设备 | ||
| 3.1 | KSMU2400 | SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测)) |
| 3.2 | OSC-1G | 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器 |
| ES612A ESD测试仪(HBM、HMM、MM) 自动化解决方案 | ||
| 4.1 | HBM-RE64X2 | 64X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
| 4.2 | HBM-RE128X2 | 128X2用于HBM自动测试的管脚转接扩展模块 |
| 4.4 | ES62X-PC-SW1 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲和SMU |
| 4.5 | ES62X-PC-SW2 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于2管脚、脉冲、示波器和SMU |
| 4.6 | ES62X-PC-SW3 | 预装自动测试软件的台式电脑，用于RE 多管脚、脉冲、示波器和 SMU |
| 4.7 | ES650-150 | 全自动2管脚低寄生机械自动化方案 (不限制管脚, 不需要PCB, PC & 包含全自动软件) |
