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SENTECH SENDIRA 薄膜计量红外光谱椭圆仪
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. 产品概述
SENTECH SENDIRA 为红外 (FTIR) 而设计。这款紧凑的台式仪器包括吹扫椭偏仪光学元件、计算机控制的测角仪、水平样品平台、自动准直望远镜、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 检测器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光谱范围内提供出色的精度和高分辨率。
2. 主要功能与优势
测量灵活性
SENTECH SENDIRA 椭圆偏振光谱仪可测量散装材料、单层和多层堆叠的薄膜厚度、折射率、消光系数和相关特性。该工具可用于覆盖在可见范围内不透明的层下方的层,使其可用于测量。可以分析材料的组成以及较大分子基团和链的取向。
椭圆振动光谱
利用红外光谱中分子振动模式的吸收带分析了薄层的组成。此外,载流子浓度可以用这种FTIR光谱椭偏仪测量。
适用的傅里叶变换红外
对于 Thermo Fisher Scientific 光谱仪的商用 FTIR iS50,安装了红外椭偏仪光学元件。它也可用于一般振动光谱法。
精确的测量和准确的结果
SENTECH SENDIRA注于薄层的振动光谱分析。应用范围从介电薄膜、TCO 和半导体到有机层。SENDIRA 由 SpectraRay/4 软件操作。另外还提供FTIR软件。