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GIGAbatch 批量晶圆处理等离子系统
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深圳市矢量科学仪器有限公司是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体前道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试设备、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司目前已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
1. GIGAbatch 310M等离子系统:
GIGAbatch 310M等离子系统 是 GIGAbatch 产品系列中的入门型号。作为小的系统,GIGAbatch 310M具有较高的性价比,凭借先进的等离子技术以及经济实惠等优点,它是实验室和大学的理想之选。然而,即使是基础版本,它也可用于使用 MFC 气体管道和 600 W 发生器,执行手动和自动等离子处理。基础版本的桌面型;为第二个气体管道提供空间。腔室多可容纳 25 片直径为 150 毫米的晶圆,可以使用石英舟批量处理,或使用带有特殊装载装置进行单片处理。各种个性化配置的配件:具有特殊密封材料的配置,带冷却板和循环冷却器的腔室可用于从晶圆上去除 SU-8。
2. GIGAbatch 360/380M等离子系统:
GIGAbatch 360M 和 380M等离子系统,是为满足低要求的小批量生产而设计。 GIGAbatch 360M版本有一个直径为 245 mm的工艺室,多可容纳 50 片直径为 150 mm的晶圆。而GIGAbatch 380M版本的腔室内径为 300 mm,多可容纳 25 片直径为 200 mm 的晶圆。该系统的基础版本是一款落地式设备,带有喷涂面板、可调节支脚和脚轮。它配有一个输出功率为 1000 W 的发生器、两个 MFC 气体管道、晶圆温度监控和一个终点侦测系统。此外,它还包括一个固定晶圆和基板的装置,可安装在腔体室内门上,并可根据客户具体要求进行设计。也可按客户需求提供:过程压力 (DSC) 的主动控制装置、法拉第笼、额外的气体管道、不同尺寸基板或晶圆的装载装置、陶瓷工艺室、使用含氟工艺气体运行的特殊密封件。