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Sumitomo住友（SHI） Marathon CP系列低温泵
- 型号
- Sumitomo住友（SHI）
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杭州域势科技有限公司，专注于为工业及科研客户提供流量、压力监测控制相关的技术服务及解决方案，公司代理经销美国ALICAT、瑞士Vogtlin、美国MKS、日本EBARA等品牌，结合代理的产品为客户提供优质的流量及压力监控解决方案，旨在提高客户的研发及生产效率、改进客户制造工艺、推动客户科研及创新进度。
我们代理经销的品牌：ALICAT、VOGTLIN、MKS、Fischer、KOBOLD、VAT。
我们的产品：
1. 热式气体质量流量计及控制器
2. 层流式质量流量计及控制器（气体）
3. 液体质量流量计及控制器
4. 压力控制器、压力传感器
5. 真空计及真空阀门
6. 真空配件及Feedthrough
我们服务的领域：
1. 生物制药、生命科学研究
2. 工业自动化及汽车制造
3. 新能源制造（锂电、光伏、氢能）
4. 半导体及泛半导体行业
5. 科研及航天航空研究
详细信息
SUMITOMO/住友 CP系列低温泵
Sumitomo住友（SHI）公司出品。
Marathon CP系列低温泵具有标准外型、超薄外型、手动功能、自动功能、不同类型法兰接口等选项供用户选择，并且可以在不破坏真空度或不将低温泵从真空腔内移出的情况下进行现场维护，延长使用寿命。抽速从1500L/S-9700L/S。
技术特点：
l 多种接口安装方式可选
l 结合Marathon® 低温泵控制器可实现全自动再生控制
l 采用Displex® 气动技术
l 自带设定点继电器
l 可就地维修无需破坏真空
典型应用：
l 物理气相沉积 （PVD）
l 离子注入
l 化学气相沉积 （CVD）
l 分子束外延
l 其他/实验室低温恒温器
l 加速器
l 真空炉
l 薄膜沉积
技术参数：
| CP-8 | CP-8LP | CP-250LP | CP-12 | CP-16 | CP-20 | |
空气 (升/秒) | 1,500 | 1,800 | 3,000 | 3,600 | 4,800 | 9,700 | |
水蒸气 (升/秒) | 4,200 | 4,200 | 6,300 | 9,560 | 17,300 | 29,100 | |
氩气 (升/秒) | 1,250 | 1,500 | 2,500 | 3,100 | 4,100 | 8,300 | |
氢气 (升/秒) | 2,300 | 3,000 | 5,000 | 7,300 | 12,000 | 14,000 | |
氩气吞吐量 (托-升/秒) | 11.0 | 11.0 | 11.0 | 12.6 | 11.4 | 11.3 | |
氩气吸附能力 (标升) | 1,200 | 1,600 | 1,600 | 3,100 | 5,500 | 6,000 | |
氢气吸附能力 (标升) | 25 | 23 | 30 | 50 | 50 | 33 | |
Crossover Rating (托升) | 220 | 220 | 300 | 650 | 500 | 400 | |
重量 | 35 lbs. (16.8 kg) | 39.5 lbs. (17.9 kg) | 44 lbs. (20 kg) | 90 lbs. (41 kg) | 110 lbs. (50 kg) | 170 lbs. (77 kg) | |
压缩机选型 | Zephyr压缩机 | • | • | • |
|
|
|
HC-4E1压缩机 | • | • | • |
|
|
| |
HC-8E4压缩机 | • | • | • | • | • |
| |
F-70压缩机 | • | • | • | • | • | • | |
Marathon CP系列低温泵
尺寸图
以：CP-250LP为例，更多型号尺寸图请于域势科技技术工程师联系。
订货选型
| CP-8 | CP-8LP | CP-250LP | CP-12 | CP-16 | CP-20 |
空气 (升/秒) | 1,500 | 1,800 | 3,000 | 3,600 | 4,800 | 9,700 |
水蒸气 (升/秒) | 4,200 | 4,200 | 6,300 | 9,560 | 17,300 | 29,100 |
氩气 (升/秒) | 1,250 | 1,500 | 2,500 | 3,100 | 4,100 | 8,300 |
氢气 (升/秒) | 2,300 | 3,000 | 5,000 | 7,300 | 12,000 | 14,000 |
氩气吞吐量 (托-升/秒) | 11.0 | 11.0 | 11.0 | 12.6 | 11.4 | 11.3 |
氩气吸附能力 (标升) | 1,200 | 1,600 | 1,600 | 3,100 | 5,500 | 6,000 |
氢气吸附能力 (标升) | 25 | 23 | 30 | 50 | 50 | 33 |
Crossover Rating (托升) | 220 | 220 | 300 | 650 | 500 | 400 |
压缩机型号：
低温泵配件
