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汞CV测试MCV测试仪
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生产厂家公司成立于2021年,是一家注册在苏州、具备技术的非接触式半导体检测分析设备制造商。公司集研发、设计、制造、销售于一体,主要攻克国外垄断技术,替代进口产品,使半导体材料测试设备国产化。
主要产品:非接触式无损方块电阻测试仪、晶圆方阻测试仪、方阻测试仪、硅片电阻率测试仪、涡流法高低电阻率分析仪、晶锭电阻率分析仪、涡流法电阻率探头和PN探头测试仪、迁移率(霍尔)测试仪、少子寿命测试仪,晶圆、硅片厚度测试仪、表面光电压仪JPV\SPV、汞CV、ECV。为碳化硅、硅片、氮化镓、衬底和外延厂商提供测试和解决方案。
凭借*的技术和丰富的产品设计经验,申请各项知识产权20余项,已发展成为中国大陆少数具有一定国际竞争力的半导体专用设备提供商,产品得到众多国内外主流半导体厂商的认可,并取得良好的市场口碑。
是一款汞探针CV自动图形扫描测量系统。它使用高频CV测量分析系统,可以对75mm、100mm、125mm、150mm、200mm(以及300mm)直径的测试片进行测量和自动成图。该系统采用的汞探针设计,从而允许测试片正面朝上,相比于传统的汞探针测试系统将测试片正面朝下吸附在样品台上而言,该设计能够避免在成图测量时的表面沾污和破坏。探针的CV系统是一种双极测试设备,两个接口被分别连接在样品的两个电极上。实际的CV测试包括两个方面:在样品电极上施加反向(或正向)偏置电压;测试两个接口之间的电容。
金属电极和耗尽区构成一个极板电容,这和两块金属板构成的空气电容类似。当反偏电压越来越大时,耗尽层越来越深,对应的电容会越来越小。从测到的电容电压数据对,我们可以分析计算出掺杂浓度随深度的变化曲线。从得到的曲线可以进一步判断掺杂浓度在深度分布上是否均匀等