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低压化学气相沉积系统LPCVD

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研启科学仪器(东莞)有限公司

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纯水机,离心机,旋转蒸发仪,光谱仪,质谱仪,频谱仪,示波器,扫描电子显微镜,电化学工作站,,流式细胞仪,手套箱,磁控溅射

公司主要销售实验室仪器仪表、实验室仪器设备、散热材料、增材制造设备、电气设备、电子产品、通讯器材、机械配件、通讯器材、电脑软硬件、机械配件、非标自动化设备、五金工具、实验耗材和试剂(不含危险化学品)、激光仪器及辅助设备;

电气设备、信息系统设计、集成;工程管理服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管技术开发、技术转让和检验检测服务;

计算机软硬件及辅助设备、信息系统软件、非标自动化设备的租赁和维修;

销售医疗器械、文化办公用品、五金交电、机械设备、监控设备、建筑材料、装饰材料、办公室用品;第二类医疗器械经营、第三类医疗器械经营;依托进口核心产品做研发:

团队是由深圳大学从事材料,光学,生物团队组成,目前核心创始人3位,分别负责材料,生物和光电领域,分别提供相应配套设施以及技术解决方案等;业务目前主要覆盖东莞,深圳,惠州,广州等整个广东地区,可快速抵达广东所在区域提供技术支持和服务。

目前典型服务客户有:清华大学深圳国际研究生院,哈尔滨工业大学(深圳),南方科技大学,深圳大学,深圳技术大学,北京大学深圳研究生院,松山湖材料实验室,大湾区大学(筹),东莞理工学院,中山大学,暨南大学,华南理工大学,广东工业大学等

详细信息

v 满足石墨烯和碳纳米管研究的高温和快速冷却要求

v 直径200毫米的石英室

v 内部石英管的设计便于拆卸和清洗

v 基片尺寸可达直径150毫米

v 三区电阻炉,150毫米的均匀温度区

v 温度可达1000°C

v 使用节流型VAT蝶形阀下游压力控制在50 mTorr500 mTorr之间

v 88立方英尺/分的Ebara ESA25-D干式真空泵 - 两级干式真空


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