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电子束光刻系统
中级会员第1年
代理商公司主要销售实验室仪器仪表、实验室仪器设备、散热材料、增材制造设备、电气设备、电子产品、通讯器材、机械配件、通讯器材、电脑软硬件、机械配件、非标自动化设备、五金工具、实验耗材和试剂(不含危险化学品)、激光仪器及辅助设备;
电气设备、信息系统设计、集成;工程管理服务;单晶硅、碳化硅、立方氮化硼、石墨烯、石墨炔、碳纳米管技术开发、技术转让和检验检测服务;
计算机软硬件及辅助设备、信息系统软件、非标自动化设备的租赁和维修;
销售医疗器械、文化办公用品、五金交电、机械设备、监控设备、建筑材料、装饰材料、办公室用品;第二类医疗器械经营、第三类医疗器械经营;依托进口核心产品做研发:
团队是由深圳大学从事材料,光学,生物团队组成,目前核心创始人3位,分别负责材料,生物和光电领域,分别提供相应配套设施以及技术解决方案等;业务目前主要覆盖东莞,深圳,惠州,广州等整个广东地区,可快速抵达广东所在区域提供技术支持和服务。
目前典型服务客户有:清华大学深圳国际研究生院,哈尔滨工业大学(深圳),南方科技大学,深圳大学,深圳技术大学,北京大学深圳研究生院,松山湖材料实验室,大湾区大学(筹),东莞理工学院,中山大学,暨南大学,华南理工大学,广东工业大学等
v 最小线宽≤8nm 光栅周期≤40nm
v 拼接精度:
100μm写场下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm写场下,拼接精度≤30nm【mean】+3sigma
v 套刻精度:
100μm写场下,拼接精度≤20nm【mean】+3sigma
500μm写场下,拼接精度≤25nm【mean】+3sigma
v 束电流稳定性<0.2%/h 束位置稳定性<120nm/8h
v 50KV加速电压下,写场可在0.5μm~500μm的范围内连续可调
v 肖特基热场发射电子束源,加速电压≥50kv,束电流范围至少为50pA~40nA,束电流≥40nA
v 图像发生器扫描频率≥50MHz,20bit分辨率,最小步距为0.5nm
v 通用样品架可承载散片,4inch以下的衬底,4inch专用晶圆专用样品架,6inch专用晶圆专用样品架,多样品专用样品架