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半导体封装材料真空探针测试
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北京华测试验仪器有限公司( 简称: 华测仪器) 为高新技术企业，专注于绝缘材料与功能新材料电性能检测以及材料电学测控设备的研发、生产、销售和服务，目前公司产品已应用于全国二十多个省、市、自治区。
公司有功能材料、电气绝缘材料两个电学试验室；涉及材料测试仪器、器件的放大、调理、采集、控制；传感器性能综合评价等相关仪器。
产品系列：功能材料电学综合测试系统、绝缘诊断测试系统、高低温介电温谱测试仪、极化装置与电源、高压放大器、PVDV薄膜极化、高低温冷热台、铁电压电热释电测试仪、绝缘材料电学性能综合测试平台、电击穿强度试验仪、耐电弧试验仪、高压漏电起痕测试仪、冲击电压试验仪、储能材料电学测控系统、压电传感器测控系统。
详细信息
半导体封装材料真空探针测试
半导体封装材料真空探针测试产品参数：
腔体
样品台尺寸：2英寸
样品固定：样品固定
观察窗口：2英寸
真空度：10-6 torr
探针臂接口：最多6个探针臂接口
其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式：液氮 / 液氦
控制方式：开循环手动
温度范围：77K ~ 450K / 4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：X-Y-Z 移动行程
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质：钨钢 / 铍铜
真空组件：分子泵组 / 机械泵
冷源组件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量：730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg
防震桌参数：
气浮隔振防震桌
隔振方式:隔振方式
材质:不锈钢 / 碳钢
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔径:M6
平台尺寸（长宽):可定制
平台厚度：50 / 100 / 200mm
固有频率:.5Hz - 2Hz
支撑腿:气浮支撑腿
支撑腿数量:4个 / 6个
支撑腿高度:800mm±10mm
其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制
产品参数：
腔体
样品台尺寸：4英寸
样品固定：样品固定
观察窗口：4英寸
真空度：10-6 torr
探针臂接口：最多6个探针臂接口
其他接口：电信接口、真空接口、光纤接口、冷源接口
制冷方式：制冷机
控制方式：闭循环自动控制
温度范围：4.5K ~ 450K
温度分辨率：0.1K / 0.01K / 0.001K
稳定性：±1K / ±0.1K / ±0.01K
显微镜
X-Y-Z 移动行程：50mm×25mm×13mm
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
光源：外置LED环形光源 / 同轴光源
CCD：200万像素 / 500万像素 / 1200万像素
探针座
X-Y-Z 移动行程：X-Y-Z 移动行程
结构：外置探针臂，真空波纹管结构
移动精度：10μm / 1μm
探针夹具
线缆：同轴线 / 三轴线 / 射频线
漏电精度：10pA / 100fA / 10fA
固定探针：弹簧固定 / 螺丝固定
接头类型：BNC / 三轴 / 香蕉头 / 鳄鱼夹 / 接线端子/ 射频接口
探针
射频支持：DC-67GHZ
针尖直径：0.2μm / 1μm / 2μm / 5μm / 10μm/ 20μm / 50μm / 100μm
材质：钨钢 / 铍铜
真空组件：分子泵组 / 机械泵
冷源组件：50L / 100L 液氮罐 / 液氦罐 / 制冷机
外形重量：730mm×750mm×1265mm（长宽高） 约100kg
防震桌参数：
阻尼隔振防震桌
隔振方式:高级复合材料隔振
材质:不锈钢 / 碳钢
平面度:0.05mm / m2
粗糙度:＜0.8μm
孔距:25×25mm
孔径:M6
平台尺寸（长宽):可定制
平台厚度：50 / 100 / 200mm
固有频率:6Hz - 8Hz
支撑腿:阻尼支撑腿
支撑腿数量:4个 / 6个
支撑腿高度:800mm±10mm
其他:内芯采用蜂窝支撑、表面密迪纹处理、支撑脚可选脚轮、特殊尺寸可定制
真空探针台 外置探针臂
