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MDPmap单晶和多晶硅片寿命测量仪
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生产厂家上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势,公司集研发、创新于一体,专注于满足客户的各类特殊要求,一切以客户为中心,经过十余年艰苦卓绝的奋斗,现已经成长为一家科工贸一体的综合仪器设备供应商,正以积极进取、昂扬的步伐迈向新的长征。
我们秉承“实诚、坦诚”的宗旨经营环保产业,专注于水质分析仪、大气环境污染物检测、传感器、实验室仪器设备、过程仪器仪表等。同时拥有多个品牌授权合作资源,数千种进口检测仪器仪表产品及配件;产品类型涉及气体分析仪及传感器、水质分析仪及电极、气象、水文、实验室仪器设备及耗材试剂、核辐射、植物生态、土壤、勘测、计量测量、电工、无损、半导体仪器设备等。
在实验室分析仪器领域,富瞻环保与赛默飞(thermo fisher),瑞士万通(metrohm),沃特世(waters),安捷伦(Agilent)等公司合作,销售代理品牌产品。同时,拥有多年实验室二手分析仪器设备国内服务经验,国外稳定采购渠道,国内翻新检测出厂安装调试,到后期维修维保及相关的技术支持,富瞻环保专业的服务团队努力为客户创造更有性价比的解决方案。
水质仪器合作品牌主要有:
实验室分析器品牌主要有:
半导体测试设备
物料 电子元器件、芯片
电子仪表
MDPmap被设计成一个紧凑的台式非接触电学表征工具,用于离线生产控制或研发,在稳态或短脉冲激励(μ-PCD)下,在一个宽的注入范围内测量参数,如载流子寿命、光导率、电阻率和缺陷信息。自动化的样品识别和参数设置允许轻松适应各种不同的样品,包括外延层和经过不同制备阶段的晶圆,从原生晶圆到高达95%的金属化晶圆。
产品介绍:
MDPmap:
单晶和多晶硅片寿命测量设备用于复杂的材料研究和开发。
特点:
◇ 灵敏度:高的灵敏度,用于可视化迄今为止不可见的缺陷和调查外延层的情况
◇ 测量速度:6英寸硅片<5min,分辨率为1mm
◇ 寿命范围:20ns到几十ms
◇ 污染测定:源于坩埚和设备的金属(铁)污染
◇ 测量能力:从切割好的硅片到加工的样品
◇ 灵活性:固定的测量头可以与外部激光器连接并触发
◇ 可靠性:模块化和紧凑型台式仪器,可靠性更高,正常运行时间>99%
◇ 重复性:> 99%
◇ 电阻率:电阻率测绘,无需频繁校准
技术规格:
MDPmap 测量案例:
碳化硅外延片(>10μm)-少数载流子寿命mapping图(平均寿命τ=0.36μs)
高阻硅片(>10000Ω·cm)-少数载流子寿命mapping图
非钝化硅外延片(20μm)-少数载流子寿命mapping图
MDPmap 应用:
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