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MDPmap单晶和多晶硅片寿命测量仪

型号
参数
价格区间:面议 应用领域:综合
上海富瞻环保科技有限公司

初级会员7年 

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上海富瞻环保科技有限公司依托于上海交大、同济大学等高校雄厚的技术优势,公司集研发、创新于一体,专注于满足客户的各类特殊要求,一切以客户为中心,经过十余年艰苦卓绝的奋斗,现已经成长为一家科工贸一体的综合仪器设备供应商,正以积极进取、昂扬的步伐迈向新的长征。


我们秉承“实诚、坦诚”的宗旨经营环保产业,专注于水质分析仪、大气环境污染物检测、传感器、实验室仪器设备、过程仪器仪表等。同时拥有多个品牌授权合作资源,数千种进口检测仪器仪表产品及配件;产品类型涉及气体分析仪及传感器、水质分析仪及电极、气象、水文、实验室仪器设备及耗材试剂、核辐射、植物生态、土壤、勘测、计量测量、电工、无损、半导体仪器设备等。


在实验室分析仪器领域,富瞻环保与赛默飞(thermo fisher),瑞士万通(metrohm),沃特世(waters),安捷伦(Agilent)等公司合作,销售代理品牌产品。同时,拥有多年实验室二手分析仪器设备国内服务经验,国外稳定采购渠道,国内翻新检测出厂安装调试,到后期维修维保及相关的技术支持,富瞻环保专业的服务团队努力为客户创造更有性价比的解决方案。




水质产品:
游动电流仪、(钙镁)、碱度/总碱度、水中油、阴离子表面活性剂、酸度、碱度、硅离子、碘离子、草甘膦(农药)、污染指数等。
铁离子、砷离子、六价铬、铜离子、锰离子、 铅离子、锌离子、总铬、镍离子、汞离子、银离子总铬、硼、硅、镉、亚铁、铝、钠、锡、锑tī)、钡(bèi)、铍(pí)、钾、钴等。水质生物毒性、大肠杆菌、活性氧等;
进口品牌仪器(珀金埃尔默、赛默飞、岛津、安捷伦、沃特世、AB、耶拿、日立等),主营产品有气相色谱、液相色谱、原子吸收光谱仪、紫外分光光度计、气质联用仪、液质联用仪;

主要合作品牌产品有:
美国Decatur 电波流速仪
美国GW 多普勒流速水位传感器
美国Global Water 直读流速仪、水质传感器、气象传感器等
美国Speedtech 声纳测深仪
加拿大Labplas 无菌采样袋
保加利亚Master 牛奶分析仪
保加利亚Lactoscan 乳品检测仪、体细胞计数仪
欧洲Elmetron水质检测仪


水质仪器合作品牌主要有:

哈希、哈纳、百灵达、YSI、WTW、NADLER、 RG、德国bbe、E+H、中国台湾LIC、德国NIVUS、日本HONDA、德国HEYL、德国Kuntze、美国HF Scientific、法国Tethys、美国SDI、美国 Qcontums、意大利 3S、英国Trace2o、英国Modern Water、中国台湾LIC

气体检测仪品牌主要有:
美国 ATI  华瑞 美国2B BW 英思科 德尔格 霍尼韦尔 梅思安 TSI 英国离子  英国科尔康 德国竖威 德图 菲索 法国菲尔德 新宇宙 理研 GrayWolf 德国尤尼


实验室分析器品牌主要有:

布鲁克 奥林巴斯 PE 赛默飞 马尔文 安捷伦 岛津 艾默生 海默生 IKA 耶拿 沃特世 AB 日立 雅马拓 梅特勒托利多 爱拓

传感器品牌主要有:
离子 霍尼韦尔 CITY 阿尔法 贝斯兰 费加罗 SUSA 根本 DDS

实验室试剂耗材品牌:
3M     美国洛德     西门子PLC     德国西马格
德国默克MERCK     色谱科SUPELCO     SIGMA-ALDRICH     默克密理博Millipore     普兰德BRAND     德国VITLAB
弗霓 ForNeeds     NUNC MYRONL麦隆 VWR      BRANSON必信能      DWK Acros ARA       QSP Nalgene
ALfa     Aesar     FISHER     AMRESCO 麦克林 阿拉丁 TCI J.T.Baker ReagCon     坛墨TMRM     伟业计量
阿尔塔     美国AIRMETRICS 富勒姆FLOM HQI     密勒Myratex

1、nalgene:广口瓶、窄口瓶、放水口大桶、PP桶
2、NUNC/ABgene:存储板、深孔板、酶标板、检测板
3、Thermo移液器:F3移液器、F2移液器、F1移液器、novs电动移液器、E1可调间距移液器
4、QSP:吸头、加长吸头、带滤芯吸头、低吸附吸头、可立样品管
5、wheaton:培养基瓶、血清瓶、可穿刺盖、杜恩斯匀浆器、压盖器、起盖器
6. bioland各类实验室耗材:pcr板、pcr联管、pcr单管、滤芯吸头、pp包装瓶、移液管、细胞培养系列、细胞筛网
7、Fisher色谱纯,ACROS,Alfa Aesar 有机/无机化学试剂,药物化学试剂,基础化学试剂,色谱纯试剂,氘代试剂

THERMO FISHER NUVIA 2B Tech Durridge GW PE
Agilent     Tektronix     Megger     IKA
GMC-Instruments KYORITSU FLUKE)     HANNA     VAISALA
CIRS        DRAGER  ATOMTEX     WTW
ATI     EPK     METTLER TOLEDO
GE     NEW COSMOS     JDSU     Mecasys
EXTECH     SONATEST(声纳)  3M QUEST     PTW     LAMOTTE    HIGH VOLTAGE     RIDGID     APogee


半导体测试设备


物料 电子元器件、芯片


电子仪表






详细信息

MDPmap单晶和多晶硅片寿命测量仪


产品特点

MDPmap被设计成一个紧凑的台式非接触电学表征工具,用于离线生产控制或研发,在稳态或短脉冲激励(μ-PCD)下,在一个宽的注入范围内测量参数,如载流子寿命、光导率、电阻率和缺陷信息。自动化的样品识别和参数设置允许轻松适应各种不同的样品,包括外延层和经过不同制备阶段的晶圆,从原生晶圆到高达95%的金属化晶圆。

详细介绍


产品介绍:

MDPmap:     

单晶和多晶硅片寿命测量设备用于复杂的材料研究和开发。         


特点:        

◇  灵敏度:高的灵敏度,用于可视化迄今为止不可见的缺陷和调查外延层的情况        

◇  测量速度:6英寸硅片<5min,分辨率为1mm        

◇  寿命范围:20ns到几十ms        

◇  污染测定:源于坩埚和设备的金属(铁)污染        

◇  测量能力:从切割好的硅片到加工的样品        

◇  灵活性:固定的测量头可以与外部激光器连接并触发        

◇  可靠性:模块化和紧凑型台式仪器,可靠性更高,正常运行时间>99%        

◇  重复性:> 99%        

◇  电阻率:电阻率测绘,无需频繁校准        


技术规格:         

样品尺寸                        

直径达300mm(标准台),直径达450mm(定制),*小为5 x 5mm                        

寿命测量范围                        

20ns至几十ms以上                        

电阻率                        

0.2 - >10³Ω·cm,p-型/n-型                        

样品材料                        

硅片、外延层、部分或加工的硅片、化合物半导体及更多材料                        

可测量的特性                        

寿命 - μ-PCD/MDP (QSS), 光导率                        

激发波长                        

选择从355nm到1480nm的*多四个不同波长。980nm(默认)                        

尺寸规格                        

体积:680 x 380 x 450毫米;重量:约65公斤                        

电源                        

100 - 250V, 50/60 Hz, 5 A                        


MDPmap 测量案例:

碳化硅外延片(>10μm)-少数载流子寿命mapping图(平均寿命τ=0.36μs)  


高阻硅片(>10000Ω·cm)-少数载流子寿命mapping图    


非钝化硅外延片(20μm)-少数载流子寿命mapping图            



MDPmap 应用:
铁浓度测定        

铁的浓度的精确测定是非常重要的,因为铁是硅中丰富也是有害的缺陷之一。因此,有必要尽可能准确和快速地测量铁浓度,具有非常高的分辨率且**是在线的        

更多......        


掺杂样品的光电导率测量        

B和P的掺杂在微电子工业中有许多应用,但到目前为止,没有方法可以在不接触样品和由于必要的退火步骤而改变其性质的情况下检查这些掺杂的均匀性。迄今为止的困难……        

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注入相关测量        

少数载流子寿命强烈依赖于注入(过剩余载流子浓度)。从寿命曲线的形状和高度可以推断出掺杂复合中心和俘获中心的信息。        

更多......        



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