便携式 光学 膜厚测量 FR-pOrtable 测厚仪

FR-pOrtable是白炽-LED混合集成式光源系统，通过内嵌式微处理器控制，使用寿命超过20000小时。小型光谱仪，光谱范围370nm –1020nm，分辨精度可达3648像素，16位级A/D分辨精度；配有USB通讯接口；可对透明和半透明的单个薄膜或薄膜叠层进行精确，精确的

无损表征。FR-pOrtable的紧凑设计保证了测量的高度准确性和可重复性。FR-pOrtable既可以安装在提供的平台上，也可以轻松转换为手持式厚度测量工具，以放置在表征区域上。这样，FR-pOrtable是用于现场应用的光学表征工具。可以测量反射率，透射率，吸收率和颜色参数。

FR-Monitor膜厚测试软件系统，可精确计算如下参数：

1）单一或堆积膜层的厚度；

2）静态或动态模式下，单一膜层的折射率；本软件包含了类型丰富的材料折射率数据库，可以有效地协助用户进行线下或者在线测试分析。本系统可支持吸收率，透射率和反射率的测量，还提供任何堆积膜层的理论性反射光谱，一次使用，即可安装在任何其他电脑上作膜厚测试后的结果分析使用。

参考样片：

1）经校准过的反射标准硅片；

2）经校准过的带有SiO2/Si 特征区域的样片；

3）经校准过的带有Si3N4/SiO2/Si特征区域的样片；

4）反射探针台和样片夹具：

可处理的样品尺寸达200mm, 包含不规则的尺寸等；

手动调节可测量高度可达50mm；

可针对更大尺寸订制样片夹具；

反射率测量的光学探针：

内嵌系统6组透射光探针200μm, 1组反射光探针200μm；

附件：

FR-portable透射率测量套件；