恒歌半导体工艺气体IGS面板专用过滤器
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生产厂家深圳市恒歌科技有限公司是集高难度烧结过滤器、温湿度露点变送器的研发、制造、销售和服务为一体的专精特新型国家高新技术企业。深耕行业20余年,恒歌以“解决气液体世界的过滤、感知、分析难题,让生命更健康”为使命,不断地提升产品性能和质量,以解决各行业在环境测量和过滤净化、流体控制领域所面临的技术难题,助力客户不断地提高产品竞争力。公司拥有一支具备强大自主创新能力和丰富行业定制经验的工程师团队,以及系统、严谨、高效的产品设计生产体系,从产品研发到技术服务,从基础测量到应用,为客户提供多元化、全部的综合解决方案。
公司产品被广泛用于环保工程、环境探测、气体检测、过滤净化、流体控制、压缩空气、轨道交通、航空、高铁、制药器械、汽车制造、半导体、电子器件、智慧农业、仓储物流及食品加工等行业。
产品介绍
IGS面板专用过滤器,用于半导体行业集成气体输送与控制系统,兼容C型和W型多种密封规 格,实现0.003μm级高效颗粒过滤,保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量,适助力设备升 级无忧。全316L不锈钢构造,坚固耐用,紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的 表面安装元件,便于系统集成与模块化设计升级,安装维护便捷高效。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质,可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入,帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计