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恒歌半导体工艺气体IGS面板专用过滤器
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温湿度环境测量仪器，烧结过滤器多孔材料，高纯高压过滤系统配件，仪器设备多孔部件
深圳市恒歌科技有限公司致力于高难度烧结过滤器的研发生产，是集多孔烧结过滤器、高纯高压过滤器的研发、制造、销售和OEM/ODM服务为一体的专精特新型国家高新技术企业。
深耕行业20余年，恒歌以“解决气液体世界的过滤、感知、分析难题，成就科技未来，让生命更健康”为使命，不断地提升产品性能和质量，以填补气体过滤和流体控制等领域的相关技术空缺，从而更好地解决客户的供应链困扰和技术难题，助力客户不断地提高产品竞争力。
公司拥有一支具备强大自主创新能力和丰富行业定制经验的工程师团队，以及系统、严谨、高效的产品设计生产体系，从技术服务到产品研发，从解决方案到流程设计，为客户提供多元化、综合解决方案。
公司产品被广泛用于环境探测、仪器仪表、制药器械、环保、过滤、石油、天然气、化工、阀门、流体、半导体、航空、新能源、食品、健康和农业等行业。
详细信息
用于半导体应用IGS面板专用过滤器
产品介绍
IGS面板专用过滤器，用于半导体行业集成气体输送与控制系统，兼容C型和W型多种密封规 格，实现0.003μm级高效颗粒过滤，保障9-LRV清洁度。支持高达100slpm的大流量，适助力设备升 级无忧。全316L不锈钢构造，坚固耐用，紧凑体型融合全焊接与机械密封技术。采用符合SEMI标准的 表面安装元件，便于系统集成与模块化设计升级，安装维护便捷高效。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质，可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入，帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计
