恒歌使用点专用气体半导体过滤器
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生产厂家深圳市恒歌科技有限公司是集高难度烧结过滤器、温湿度露点变送器的研发、制造、销售和服务为一体的专精特新型国家高新技术企业。深耕行业20余年,恒歌以“解决气液体世界的过滤、感知、分析难题,让生命更健康”为使命,不断地提升产品性能和质量,以解决各行业在环境测量和过滤净化、流体控制领域所面临的技术难题,助力客户不断地提高产品竞争力。公司拥有一支具备强大自主创新能力和丰富行业定制经验的工程师团队,以及系统、严谨、高效的产品设计生产体系,从产品研发到技术服务,从基础测量到应用,为客户提供多元化、全部的综合解决方案。
公司产品被广泛用于环保工程、环境探测、气体检测、过滤净化、流体控制、压缩空气、轨道交通、航空、高铁、制药器械、汽车制造、半导体、电子器件、智慧农业、仓储物流及食品加工等行业。
产品介绍
OF系列在线式专用气体过滤器,专为高流量电子级气体超纯净化设计,过滤精度高达0.003μm。其结构紧凑、强度高,与多种半导体工艺气体兼容,尤其适用于大宗气体及惰性气体。该系列采用全焊接316L不锈钢外壳,确保与多数高纯度半导体工艺气体的兼容性。它适用于大流量特种气体供应及超高纯度气棒,在半导体、LED、光伏及MEMS设备连接中提供超高纯度过滤,满足阀歧管箱、气柜等工艺需求。
产品特点
▶不锈钢粉末烧结介质,可快速排气
▶整体316L不锈钢结构
▶减少工艺腔体排气时的湍流
▶适用于多种工艺气体
▶洁净室环境内制造、测试、包装
▶100%完整性测试通过
▶100%氦气泄露检测通过
▶耐高温、耐高压、耐腐蚀
▶防止微粒混入,帮助提高产品合格率
▶可根据安装空间进行设计