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半导体炉管清洗机 炉管道清洗
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生产厂家芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司,主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机,单片清洗机,高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程,公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备,12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位,已经成功取得长江存储,中芯国际,重庆华润,上海华虹,上海积塔,上海格科,广东粤芯,青岛芯恩,厦门士兰,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单,我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。
炉管清洗机是一种专门用于清洗工业炉管内壁的设备,旨在去除积碳、结焦和其他杂质,以保持炉管的清洁和正常运作。以下是对炉管清洗机的详细介绍:
设备构成
储液部:负责储存清洗所需的化学药剂或去离子水。
清洗部:包括清洗槽、溢流排放槽等,是进行实际清洗操作的部分。
供液机构:将储液部的液体输送到清洗部,确保清洗过程中液体的供应。
废液回收机构:收集并处理清洗过程中产生的废液,减少环境污染。
工件支撑及旋转驱动机构:用于支撑待清洗的炉管,并通过旋转驱动机构使炉管在清洗过程中转动,以提高清洗效率。
排风系统:在清洗过程中排出可能产生的有害气体,保障工作环境的安全。
给排水系统:负责设备的给水和排水,确保清洗过程的顺利进行。
电器部分:包括控制系统、传感器、电磁阀等,用于控制设备的运行状态和参数设置。
技术特点
主体材料:采用德国进口的PP板和优质不锈钢骨架,外包PP板,确保设备的耐腐蚀性和结构稳定性。
管路材质:DIW管路及构件采用日本进口的clean-PVC管材,酸碱管路采用PFA/PVDF材质,满足高纯度和安全性要求。
安全措施:设有EMO(急停装置)、强电弱点隔离、三层防漏楼盘倾斜漏液报警等多重安全保护措施,确保设备运行的安全性。
应用领域
半导体制造:用于石英炉管或石英舟的湿法化学处理,如腐蚀、清洗等步骤。
光学镀膜:在光学器件的镀膜前,对石英基片进行清洗,去除表面的杂质和污染物。
材料科学研究:用于清洗实验中使用的石英炉管或石英舟。