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石英舟清洗机 石英清洗
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芯矽科技是一家专注半导体湿法设备制造公司，主要提供实验室研发级到全自动量产级槽式清洗机，单片清洗机，高纯化学品/研磨液供应回收系统及工程，公司核心产品12寸全自动晶圆化学镀设备，12寸全自动炉管/ Boat /石英清洗机已占据行业主导地位，已经成功取得长江存储，中芯国际，重庆华润，上海华虹，上海积塔，上海格科，广东粤芯，青岛芯恩，厦门士兰，南通捷捷，湖南楚微等主流8寸12寸Fab产线订单，我们致力于为合作伙伴提供适合你的解决方案。
详细信息
石英舟清洗机是一种专门用于清洗半导体制造过程中使用的石英舟和石英管的设备。以下是对石英舟清洗机的详细介绍：
设备构成
机械手：带动花篮进行水平和升降运动，使石英舟在超纯水工艺槽和化学工艺槽内进行振动清洗。
管路系统：对废液进行分类排放及回收，减少废液处理过程中的浪费，节省回收成本。
自动补液功能：通过液位传感器控制，确保清洗液的稳定供应。
技术特点
药液循环过滤：保持清洗液的清洁度，提高清洗效果。
炉管滚动：使石英舟在清洗过程中均匀受力，避免局部残留。
独取样口：方便对清洗效果进行实时监控。
安全措施：排酸权限分级、排酸弹窗确认、门锁Interlock、EMO等，确保设备操作的安全性。
应用领域
主要用于半导体制造过程中的石英舟和石英管的清洗，如8寸/12寸等多种尺寸的石英舟/石英管。
