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光学元件形貌测试系统
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生产厂家徕飞光电致力于引进全世界优秀的光电技术产品,结合我们丰富的应用经验,为客户提供合适的解决方案,目前主营产品包括:光谱测量系统、激光器、激光量测系统、精密光机产品、光学平台、光学元器件等;产品广泛应用于材料学、物理光学、镜头、半导体器件测试、汽车光学器件、显示光学器件等领域
徕飞光电始终坚持以客户需求为中心,与客户协同创新,为行业带来新的解决方案,实现跟客户的价值双赢、共同发展,立志成为国内一流的光电解决方案供应商;
目前徕飞光电为客户提供以下产品和服务:
波前分析系统:四波剪切干涉波前传感器、镜头MTF测试系统、等离子体诊断系统、透射式波前调制器
光谱系统:拉曼光谱系统、荧光光谱系统、紫外拉曼系统等;
光电模组:激光光源、超亮白光光源、波长可调光源、电学测试仪等
传感器:光纤光谱仪、红外光谱仪、波前传感器、科研级制冷相机、激光功率计、光斑分析仪等
精密机械:电动位移台、手动位移台、光学调整架、光学平台
光学元件:透镜、窗口、反射镜、棱镜、滤光片、波片、偏振元件等
KALEO MULTIWAVE是Phasics推出的一款多波长动态干涉仪,该产品应用了Phasics的横向四波剪切干涉技术,可以实现动态的波前测量,从而快速得到样品的表面形貌信息;而且该技术的自消色差的特性,让系统可以支持多个工作波长,有效避免传统干涉仪测试波长跟工作波长不同带来的误差问题,特别针对滤光片,可以实现传统干涉仪无法实现的TWE的测试;
应用领域:滤光片TWE检测
反射镜RWE检测
雷达保护窗口检测
图2、5英寸带通滤光片的RWE 图3、940nm的镜子面型
图4、645nm带通滤光片TWE
斐索干涉仪 Kaleo Multiwave
图5、斐索干涉仪和KaleoMultiwave的测试结果对比
测试结果对比表
FIZEAU | PHASICS | ||
直径(mm) | 124.9 | 125.4 | |
RWE(nm PTV) | 1498.13 | 1535.38 | |
RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR | 35.2 | ||
RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA | 9.1 | ||
SAG(fr) | 5.13 | 5.04 | |
IRR(fr) | 0.75 | 0.61 | |
RSI (fr) | 0.34 | 0.23 | |
RMSt (fr) | 1.477 | 1.459 | |
RMSi (fr) | 0.129 | 0.103 | |
RMSa (fr) | 0.085 | 0.059 |
技术规格
KALEO Multiwave技术规格 | |
配置 | 双透射 |
测试功能 | RWE反射表面形貌 TWE透射器件 |
最多可支持波长 | 标配2个波长;最多可以8个波长 |
定制波长 | 从193nm到14um可选 紫外:266nm,355nm,405nm VIS/NIR:550nm,625nm,780nm,940nm,1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um |
通光口径 | 130mm |
光路中心高度 | 108mm |
调试模式 | 实时相位及泽尼克系数显示 |
FOV调整范围 | +/- 2° |
尺寸和重量 | 910x600x260 mm3 , 25kg |
隔震要求 | 无 |
重复性(RMS) | <0.7nm(<λ/900) |
精度 | 80nmPV |
动态范围(defocus) | 500 fringes SFE=150um |
反射率 | ~4% - 99% |
更多应用资讯,请联系我司产品经理苏先生( 微信同号)