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光学元件形貌测试系统

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徕飞光电科技(深圳)有限公司

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 徕飞光电科技(深圳)有限公司坐落在深圳国家科学城-光明中心区,是一家集光学、精密机械、电子、计算机技术于一体的企业,为国内高校及企业研发提供光电设备及集成方案的供应商。

徕飞光电致力于引进全世界优秀的光电技术产品,结合我们丰富的应用经验,为客户提供合适的解决方案,目前主营产品包括:光谱测量系统、激光器、激光量测系统、精密光机产品、光学平台、光学元器件等;产品广泛应用于材料学、物理光学、镜头、半导体器件测试、汽车光学器件、显示光学器件等领域

 徕飞光电始终坚持以客户需求为中心,与客户协同创新,为行业带来新的解决方案,实现跟客户的价值双赢、共同发展,立志成为国内一流的光电解决方案供应商;

目前徕飞光电为客户提供以下产品和服务:

波前分析系统:四波剪切干涉波前传感器、镜头MTF测试系统、等离子体诊断系统、透射式波前调制器

光谱系统:拉曼光谱系统、荧光光谱系统、紫外拉曼系统等;

光电模组:激光光源、超亮白光光源、波长可调光源、电学测试仪等

传感器:光纤光谱仪、红外光谱仪、波前传感器、科研级制冷相机、激光功率计、光斑分析仪等

精密机械:电动位移台、手动位移台、光学调整架、光学平台

光学元件:透镜、窗口、反射镜、棱镜、滤光片、波片、偏振元件等

详细信息

Phasics-Kaleo-MultiWAVE-interferometer-new-design.png

KALEO MULTIWAVEPhasics推出的一款多波长动态干涉仪,该产品应用了Phasics的横向四波剪切干涉技术,可以实现动态的波前测量,从而快速得到样品的表面形貌信息;而且该技术的自消色差的特性,让系统可以支持多个工作波长,有效避免传统干涉仪测试波长跟工作波长不同带来的误差问题,特别针对滤光片,可以实现传统干涉仪无法实现的TWE的测试;

应用领域:滤光片TWE检测

          反射镜RWE检测

          雷达保护窗口检测

Kaleo_MultiWAVE_动态范围.jpg        Kaleo_MultiWAVE-TWE.jpg

       

25英寸带通滤光片的RWE                                           3940nm的镜子面型


645nm带通滤光片TWE-1.png      645nm带通滤光片TWE-2.png

4645nm带通滤光片TWE

            斐索干涉仪                Kaleo Multiwave

斐索干涉仪跟KMW的对比.png

5、斐索干涉仪和KaleoMultiwave的测试结果对比

测试结果对比表


FIZEAU

PHASICS

直径(mm

124.9

125.4

RWE(nm PTV)

1498.13

1535.38

RWE (nm RMS) without PST/TLT/PWR

35.2


RWE (nm RMS) without ST/TLT/PWR/AST/CMA/SA

9.1



SAG(fr)

5.13

5.04

IRR(fr)

0.75

0.61

RSI (fr)

0.34

0.23

RMSt (fr)

1.477

1.459

RMSi (fr)

0.129

0.103

RMSa (fr)

0.085

0.059

技术规格

KALEO Multiwave技术规格

配置

双透射

测试功能

RWE反射表面形貌

TWE透射器件

最多可支持波长

标配2个波长;最多可以8个波长

定制波长

193nm14um可选

紫外:266nm355nm405nm

VIS/NIR550nm625nm780nm940nm1050nm SWIR/MWIR/LWIR:1.55um,2.0um,3.39um,10.6um

通光口径

130mm

光路中心高度

108mm

调试模式

实时相位及泽尼克系数显示

FOV调整范围

+/- 2°

尺寸和重量

910x600x260 mm3 , 25kg

隔震要求

重复性(RMS

<0.7nm(<λ/900)

精度

80nmPV

动态范围(defocus)

500 fringes SFE=150um

反射率

~4% - 99%

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