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CY-SPC-SS 全自动匀胶机旋涂仪
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生产厂家郑州成越科学仪器有限公司位于郑州市*开发区,是一家专业从事材料制备设备研发、生产和销售为一体的高科技公司。重点专注于CVD石墨烯制备设备、荧光粉烧结设备、氧化锆生物陶瓷烧结、纳米材料制备、电池材料制备、陶瓷材料的微波烧结、稀有金属的区域提纯等研究发展方向。
郑州成越科学仪器有限公司的研发团队凭借自身在热处理技术方面的专业知识和丰富的实践经验,先后研发出了多款*材料制备设备。主要产品有:微波烧结炉、真空管式炉、箱式电阻炉、高频感应炉、氧化锆烧结炉、荧光粉烧结炉、晶体退火炉、电池材料烧结炉、旋转管式炉、立式管式炉、CVD管式炉等;
其他的产品还有:等离子清洗机、真空手套箱、真空干燥箱、环境模拟测试柜、行星球磨机、高纯石英管、99刚玉管、真空法兰等。
近年来,在社会各界的关心支持下,公司不断发展壮大,与国内外多所高校和科研单位建立起了合作关系;公司还聘请了多位国内外重点高校的教授,博导为公司常年的技术顾问,他们时刻与国内外学术界保持交流,出国访问,并亲临一线指导产品的生产和研发,使我公司的产品不断完善,并紧跟世界研究热点,推出相关的新产品。产品远销欧美、日韩等国家,并在国内外市场获得业界*好评。
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详情介绍:
全自动匀胶机旋涂仪是一种实验室设备,主要用于制备薄膜材料,其应用范围包括制备太阳能电池,制备金属、半导体、氧化物、聚合物等材料的薄膜,制备纳米材料、纳米结构、纳米薄膜等。在半导体芯片制造过程中,匀胶机旋涂仪是关键设备。例如在光刻工艺之前,需要使用它在硅片表面均匀地涂覆光刻胶。光刻胶的厚度均匀性对于芯片的精度和性能至关重要。高精度的全自动匀胶机能够精确控制光刻胶的厚度,误差可以控制在极小范围内,确保在后续光刻过程中能够精确地将电路图案转移到芯片上。而且,对于不同尺寸的硅片(如从较小的芯片试验片到大型的量产硅片),都可以通过调整旋涂参数实现良好的涂覆效果。
产品特点:
1、专业级伺服电机驱动,高精度、高重复性
2、人性化设计,ARM控制,安卓全彩触屏操作
3、不锈钢内腔,阳极氧化处理面板,美观、整洁
4、可连续、自动供胶,满足工业用途
5、可添加防溅罩式清洗和显影功能,满足定制需要
6、适合处理超大或超重底物,*大处理12寸圆形底物
7、更大尺寸和重型底物以及内腔抽真空等要求均可定制
产品名称 | 全自动匀胶机旋涂仪 |
产品型号 | CY-SPC-SS |
供电电压 | AC220V 50Hz |
基片尺寸 | 6寸、8寸铝合金真空载物盘 |
腔体材质 | 不锈钢 |
转速 | 20-5000rpm |
转速分辨率 | ±lrpm |
加速度可调范围 | 20-10000rpm/s |
单步时长 | 3000s |
时间分辨率 | 0.1s |
编程 | 可编程100组100步程序 |
点胶端口 | 可扩展带四路自动点胶端口 |
点胶功能 | 可升级多路自动点胶功能 |
滴胶方式 | 自动 |
操作方式 | 液晶屏操作系统 |