KAKUHUNTER写真化学 测绘膜自动薄膜厚仪

KAKUHUNTER写真化学 测绘膜自动薄膜厚仪

特征

测绘膜厚仪能够自动测绘晶圆整个表面的膜厚，最大可达300毫米。自动对准功能和高度平坦的晶圆吸盘可实现高度可靠的膜厚测量。 另外，通过设置在半导体制造装置的装载口，可以在保持清洁度的同时管理制造装置上的膜厚。

1可对最大 300mm 的晶圆进行全表面自动薄膜厚度测绘

2自动对位功能

3通过使用具有高平坦度的晶圆卡盘，提高了晶圆平面内的测量可靠性

通过自动检测缺口和定向平面位置以及自动检测晶圆偏心，实现高精度测量。

4可以根据应用选择三种类型的光源

5透明盖使测量过程中的运动一目了然

6一体化设计节省空间

测量数据示例（2D膜厚分布）

贴合晶圆的硅厚度（nm）

测量数据示例（3D膜厚分布）

贴合晶圆的硅厚度（nm）

测量数据示例（膜厚频率分布）

贴合晶圆的硅厚度

测量数据示例（多个晶圆的膜厚分布箱线图）

5个晶圆的膜厚分布趋势

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

SAGADEN嵯峨、SAKAZUME坂诘、DNP大日本科研、TOKYO DENSHOKU电色、KKIMAC

S-VANS斯万斯、ORIHARA折原、LUCEO鲁机欧、HIKARIYA光屋、YAMADA山田光学

AND艾安得、T&D天特、JIKCO吉高、DKK-TOA东亚电波、OKANO冈野

IMV艾目微、MITUTOYO三丰、KYOWA共和、ONOSOKKI小野、SANEI三荣

HEIDON新东、KURABO仓纺、SHOWA昭和、THINKY新基

SURUGA骏河、ACCRETECH東京精密、SANSYO三商、ITOH伊藤

RKC理化、MACOME码控美、EIWA荣和、EXCEL艾库斯、YODOGAWA淀川等

优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

变色灯箱、色差仪、卤素光源装置、应力表面检查仪、LED光源机、电子天平、粘度计、膜厚计，恒流泵、采样泵、PH计、水分计、地震测试仪、脱泡搅拌机、压力传感器、气体检测仪，接近开关、拉拔机、异音检测仪、离心机，下死点检测装置、空气测量泵、应变测试仪等期待您的咨询。