KAKUHUNTER写真化学 反射多层成像膜厚计

KAKUHUNTER写真化学 反射多层成像膜厚计

 这是一种膜厚计，可以利用显微图像光谱法将透明多层膜的膜厚分布可视化。

由于使用光学干涉法计算膜厚，因此可以

以0.1nm以下的分辨率以3D方式显示膜厚分布。

测量显微镜视野内任何区域的

膜厚和膜质量分布，并以 3D 形式显示分布

分辨率相当于可见光波长干膜测厚仪

波长范围从 450nm 到 750nm 可以以 1nm 增量

使用与反射膜厚度监视器相同的计算引擎进行并行计算

应用实例

① 数百层重复层压薄膜、沟槽等复合结构。

② 使用 EMA（有效介质近似）法估算亚微米图案的密度

③ 局部结晶度评价

您可以根据工作和应用选择物镜。

代理品牌：CCS晰写速 SEN日森、EYE岩崎、REVOX莱宝克斯、SERIC索莱克

SONIC索尼克、SANKO三高、NEWKON新光、HAYASHI 林时计、NPM日脉

NS日本科学、DRY-CABI东利繁、TOKISANGYO东机、SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山

优势品牌：USHIO牛尾、TOPCON拓普康、AITEC艾泰克、FUNATECH船越龙、ORC欧阿西

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优势产品：日本紫外线照度计、紫外线装置灯管、LED视觉光源、表面检查灯、手持检测灯

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