MFM330 气体质量流量计，其结构包含毛细管柱式流量传感器、旁路分流系统、高精度比例阀和控制系统。
被测气体进入后，先通过传感器和旁路分流系统。由传感器实时测量气体流量、高精度比例阀动态响应快速调节气体流量至设定值。测量与调节流量的闭环结构，即使环境温度变化或进出口气压波动，MFM330 气体质量流量计 依然能够保持稳定的流量控制。
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MFM330 气体质量流量计
- 型号
- MFM330
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气体流量计
爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电 子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成 。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能 制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年，位于无锡新吴区清源路20号大学科技园 。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS，专业从事气体质量流量测量与控制 。 爱拓利拥有自己的研发团队，具有高水平的产品设计、结 构、硬件和软件等研发能力，是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企 业 ， 更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件（ 高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀 ）的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控 制器被广泛应用于半导体、光 伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器 、石化、制气 、医疗 、食品 、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时，爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系，并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产，规范化管理 ，爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀，爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议，气体种类覆盖面广、控制及测量精度高 、响应速度快、性能稳定 。
详细信息
MFC330工作原理
产品特点
精准质量流量测量/控制
快速响应、高重复性
不受温度和压力的影响
工作压差范围大：0-1MPa
低压损可选
全金属比例阀可选
集成显示器可选
经济有效的解决方案
主要参数
- 介质要求洁净干燥气体
- 气体种类98+气体可选
- 量程10，20，50，100，300，500 sccm；0-1，2，5，10，20，30，50，100，200，500slpm
- 测量范围0.5%-100% F.S.
- 准确度±0.5% F.S.
- 重复精度±0.2%F.S.
- 线性度±0.2%F.S.
- 分辨率0.001 sccm（<10L/min），1sccm（10-50L/min）
- 传感器响应时间<1s
- 预热时间5 min（T95），30 分钟最佳
- 泄漏率1*10-11Pa.m³/sec He
机械特性
- 最大工作压力3 MPa（30bar）
- 工作压差范围0-1 MPa
- 工作温度范围-20~65℃℃（环境和气体）
- 温度范围0 ~ 98%无凝露
- 气路接头类型快插、快拧、卡套、VCR（可选）
- 气体接触材质氟橡胶、316不锈钢
- 密封材质氟橡胶 FKM
- 防护等级IP40
- 安装方式水平安装方向校准
- 固定孔M4 ↓ 5mm
- 重量0.82kg
电气和通讯
- 电气连接接口类型DB-9 公头
- 模拟信号0 - 5 VDC，4 - 20 mA（可定制）
- 输入输出阻抗输入阻抗>10MΩ，输出阻抗<1KΩ
- 模拟数据更新频率200Hz
- 数字信号RTU （RS232， RS485），CAN
- 通信速率9600（默认），14400，19200，38400，56000，57600，115200 bps（可修改）
- 电源15-40 VDC，<200 mA
- 显示更新频率50Hz
- 模拟信号精度±0.05%F.S.
特征
- 标况20℃ & 1 atm
- 气体选择98种气体可选，具体参考说明书气体系数
- 软件Aitoly分阶流量软件
尺寸
| 满量程 | 高 | 款 | 深度 | A | B | C | D | E | 重量 |
| 2 sccm~50 slpm | 125.00 mm | 76.00 mm | 32.00 mm | 64.00 mm | 17.80 mm | 7.00 mm | 6.00 mm | M4 ↓ 5 mm | ≈0.82 kg |
| 4.921 in | 2.992 in | 1.260 in | 2.520 in | 0.701 in | 0.276 in | 0.236 in | M4 ↓ 0.197 in | ≈2.1 lb | |
| 100 sccm~500 slpm | 138 mm | 82 mm | 38 mm | 62 mm | 30 mm | 10 mm | 10 mm | M4 ↓ 8 mm | ≈1 kg |
| 5.43 in | 3.22 in | 1.496 in | 2.440 in | 1.181 in | 0.157 in | 0.393 in | M4 ↓ 0.31 in | ≈2.21 lb |
产品选型
