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MFC300-03D 气体质量流量控制器

型号
MFC300-03D
参数
产地类别:国产 产品种类:质量式 价格区间:面议 介质分类:气体 应用领域:综合
苏州爱拓利电子设备有限公司

高级会员1年 

生产厂家

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爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS由苏州爱拓利电 子设备有限公司及无锡爱拓利电子科技有限公司组成 。总部苏州爱拓利位于苏州市吴江区柳胥路99号半导体智能 制造创新港。分公司无锡爱拓利成立于2017年,位于无锡新吴区清源路20号大学科技园 。爱拓利精准流量测控AITOLY INSTRUMENTS,专业从事气体质量流量测量与控制 。 爱拓利拥有自己的研发团队,具有高水平的产品设计、结 构、硬件和软件等研发能力,是国内少数能够自主研发生产高精度气体质量流量计和气体质量流量控制器的企 业 , 更是国内极少数能够自主研发生产气体流量计及流量控制器核心部件( 高精度气体流量传感器和高稳定性微型比例阀 )的气体流量控制产品生产厂家。爱拓利质量流量计及控 制器被广泛应用于半导体、光 伏、真空镀膜、生命科学、燃料电池、精度分析仪器 、石化、制气 、医疗 、食品 、工业自动化控制等行业。在不断追求创新和突破的同时,爱拓利十分注重产品品质。爱拓利有一套严谨科学的检测标准和质量控制体系,并通过了ISO9001质量体系认证。通过标准化生产,规范化管理 ,爱拓利持续稳定地向顾客提供高质量的合格产品。通过多年的研发、生产和应用经验积淀,爱拓利先后推出了多款气体质量流量计和控制器。支持多种通讯协议,气体种类覆盖面广、控制及测量精度高 、响应速度快、性能稳定 。

详细信息


MFC300-03D 气体质量流量控制器,该系列采用 MEMS 流量传感器,自带温度和压力补偿。具有响应速度快,宽量程比、压损小、体积小巧安装方式灵活的特点。

气体质量流量控制器
MFC300-03D 气体质量流量控制器工作原理


产品特点

超快响应:5ms 测量响应,300ms控制响应

高重复性,宽量程比

更小体积,安装方便

无需预热,使用便捷

分阶流量控制软件,灵活配置


主要参数
  • 介质要求
    洁净干燥无腐蚀性气体
  • 气体种类
    Air,N2,02,Ar,CH4,CO2
  • 量程
    0-5,10,20,50,100,300,500 sccm;0-1,2,3,4,5 slpm
  • 测量和控制范围
    0.2%-100%F.S. (1:500)
  • 准确度
    ±0.5%F.S.
  • 重复精度
    ±0.5%F.S.
  • 线性度
    ±0.2%F.S.
  • 分辨率
    0.1 sccm,0-1000 sccm;1 sccm,1-5 slpm (0.01 sccm,0-50 sccm可选)
  • 传感器响应时间
    5ms
  • 控制响应时间
    300ms
  • 预热时间
    ≤1s
  • 阀门
    常闭式
  • 泄漏率
    1*10-11Pa.m³/sec He



机械特性
  • 最大工作压力
    1.1 MPa(11bar)
  • 工作压差范围
    0-1 MPa
  • 工作温度范围
    0-65℃(环境和气体)
  • 温度范围
    0 - 98%无凝露
  • 气路接头类型
    快插、快拧、卡套、VCR(可选)
  • 气体接触材质
    氟橡胶、黄铜、300-系列不锈钢、硅
  • 密封材质
    氟橡胶 FKM
  • 防护等级
    IP40
  • 安装方式
    任意方向安装
  • 固定孔
    M4 ↓ 5mm
  • 重量
    0.38kg



电气和通讯
  • 电气连接接口类型
    DB-9 male
  • 输入输出阻抗
    输入阻抗>10MΩ,输出阻抗<600Ω
  • 数字信号
    Modbus RTU(RS232,RS485),CAN
  • 量程
    0-2,10,20,30,100,300,500sccm
    0-1,2,5,10,20,30slpm
  • 通信速率
    9600(默认),14400,19200,38400 bps(用户可修改)
  • 电源
    15-40 VDC,100 mA



特征
  • 标况
    20℃,1 atm
  • 气体选择
    可选,具体参考说明书气体系数
  • 软件
    Aitoly分阶流量软件



尺寸
满量程深度ABCDE重量
5 sccm~5 slpm66.20 mm51.00 mm39.00 mm43.70 mm27.40 mm4.30 mm5.80 mmM4 ↓ 5 mm≈0.38 kg
2.606 in2.008 in1.535 in1.720 in1.079 in0.169 in0.228 inM4 ↓ 0.197 in≈0.84 lb



气体质量流量控制器
产品选型
气体质量流量控制器



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产品参数

产地类别 国产
产品种类 质量式
价格区间 面议
介质分类 气体
应用领域 综合
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