涡轮分子泵由多层转子叶片和定子叶片组成。 下图所示的是叶片的角度以及旋转方向的关系 气体分子从高真空侧进入泵内，附着于转子叶片后将按照麦克斯韦分布朝不同方向脱离。 然而，由于叶片的倾斜角度和旋转，分子飞入下一层，并且容易穿过定子叶片再向下。 同时，从下层飞入并通过固定叶片后逆行的气体分子，也能通过与转子叶片碰撞再次飞到下一层。 叶片的角度是，上层的气体分子容易通过(排气方向的流向和逆流的差较大)的角度，而下层的气体分子不容易逆行的(排气方向的流向和逆流的比较大)角度。 在分子流域，涡轮分子泵是通过该转子叶片和定子叶片发挥基本性能。

本公司在转子叶片和定子叶片组合基础上增加了“螺纹槽”构造。被压缩到圆筒状的旋转部（转子）的壁面的气体分子，最终沿着固定部分（定子）的螺纹槽，移到泵的排气口一侧。 由于螺纹槽的作用，涡轮分子泵(复合分子泵)不仅在分子流域，在粘滞流也能排气，尤其在粘滞流时可以大流量排气。 因此，涡轮分子泵的适用压力范围被扩展，得到了很多用途的广泛应用。此外，由于可以在高背压下运转，也有可能使用更小的、压力更高的辅助泵。

无油的超真空环境

・机械式的气体分子排气(动态排气),对所有的气体的排气速度大致相同

・可排稀有气体和腐蚀性气体

・可连续排大流量气体

・可工作的压力范围宽。 (～10-10Pa）.

复合分子泵TG-F系列

使用了脂润滑陶瓷轴承，实现了小型、轻量、低成本。 耐外部震动，耐冲击能力强，可以把分子泵搭载到可搬式设备或设备的可动部，拓展了涡轮分子泵的新应用。提供排气速度50L/s ～ 2400L/s的产品。

• 多方位安装

• 轻巧设计

• 节能

• 迅速启动

• 使用破控功能可迅速停止

• 耐大气冲击能力强

• 多种通信模式

• 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE

  产品规格：

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  产品尺寸图：

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