普发氦质谱检漏仪

高性能移动型检漏仪——ASM 390

高性能 – 移动式 ASM 390、ASM 392

对大型测试对象进行快速抽气和短响应时间

ASM 390 和 ASM 392氦质谱检漏仪 是理想的泄漏检测解决方案，适用于半导体和显示器行业以及其他以快速抽气和高灵敏度为关键的苛刻应用。两个装置均符合 Semi S2 标准。

这些检漏仪配备了干式无摩擦前级泵和强大的高真空泵，使其成为在清洁环境中对各种组件进行泄漏测试的理想工具。 ASM 392 配备额外的涡轮分子泵，将加快泄漏检测过程，减少生产设备的停机时间。

干式氦检和移动性

ASM 390 和 ASM 392 可用于半导体和显示器产业以及其他要求严格的应用，这些应用需要快速的抽空时间和高灵敏度。两种型号都符合 Semi S2 标准。

这些氦质谱检漏仪都装备干式非接触前级泵和强大的高真空涡轮分子泵，从而使其成为清洁环境下各种组件泄漏测试的理想工具。ASM 392装有一台额外的涡轮分子泵，可以加速泄漏检测流程，降低生产设

备的停机时间。

耐用、精确、可靠

ASM 390 和 ASM 392 的开发是基于实现任何等级的操作人员都能上手的设备。他们都可以在最短的时间里提供良好性能和结果，从而在现场提高效率。

符合人机工学且操纵灵敏

ASM 390 和 ASM 392 具有同样的平台，人机工学设计，尺寸和高度合适，前部有一辅助手柄，显示器可自由旋转、可拆卸，前部入口易于连接测试端口，可操作性强，可用于各种测试场地，即使狭小的空间也应对自如。

精巧智能且用户友好

通过色彩清晰的宽屏触摸屏、带模块化隔仓和真空波纹管存储的集成工具箱，在使用地点所有需要的附件无不齐备，您会感叹泄漏检测多么轻松。

产品优势

• 高机动性和紧凑的设计

• 好的泄漏测试性能

• 大型可旋转彩色触摸屏

• 高粗加工能力 (35 m3/h)，可实现快速疏散

• 干燥清洁泵送技术

• 维护要求低

• 工作表面符合人体工学设计

• 污染情况下快速恢复

• 直观的菜单，方便操作

• 用于存放配件的集成工具箱

• 快速启动

• 高灵敏度和准确的测量

• 符合半 S2 标准

应用领域

半导体 镀膜 太阳能 粒子加速 真空管件（贯通器材、阀门、波纹管、伸缩接头）镭射技术 超纯物质 电子元器件 航天 医药

ASM390尺寸图：