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WS-1000 湿法刻蚀设备（Wet Station）美国Laurell
- 型号
- WS-1000
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匀胶机，等离子清洗机，光刻机，折射率匹配液，显微镜浸镜油，液压机，热压机，加热台，显影机，湿法腐蚀机，
工业和实验室设备供应集团：
迈可诺公司全称“迈可诺技术有限公司”，英文简称“MYCRO”。这是一家富有创新精神的化高科技公司，专业提供光电半导体化工实验室所需设备耗材的全套解决方案提供商，公司网址为http://www.mycro.com.cn 。
作为工业实验室市场领域的，迈可诺从事开发、设计、生产并营销质量可靠的、安全易用的技术产品及优质专业的服务，帮助客户和合作伙伴取得成功。
迈可诺成功的基础是帮助客户做出更好的选择和决定，尊重他们的决定，并协助他们实现高效率的科研成果，追求丰富有意义的生活。
详细信息
名称：WS-1000湿法刻蚀设备Wet Station
产地：美国
品牌：Laurell
湿法设备Wet Station
湿法刻蚀设备特征：
l All white polypropylene construction
l Any Laurell Spin Processor(s) installed
l Easy-access Nitrogen&DI Spray guns
l Need a smaller size?-see our MINI
l 全白色聚丙烯构造
l 可内置任何Laurell公司的匀胶机（即旋涂仪）
l 排放简便的入氮口和DI喷头
l 如果需要更小尺寸——有微型湿法设备Wet Station供选择
GENERAL INFORMATION
湿法刻蚀设备一般信息
The Laurell WS-1000 Series Spin-Process Stations allow a fully configuredtested module to be constructedshipped complete-requiring only the minimum of installation time. Easy to loadoperate-everything is in convenient reach to the operator.
Laurell公司的WS-1000系列旋转处理湿法设备Wet Station可以被配置成测试模块构造，安装简便，易于拆卸，更便于操作者控制。
Typical processes for the WS-1000 include, but are not limited to:
Typical processes for the WS-1000 include, but are not limited to:
典型的WS-1000湿法刻蚀设备Wet Station处理过程包括（但不限于）：
l Coating
l Etching
l Developing-Aqueous/Solvent
l Cleaning-Aqueous/Solvent
l Yes, Sulfuric/Peroxide(insitu mixing)
l Yes, HBr
l Temperature-controlled Developing
l Rinsing/Drying
l 涂敷
l 蚀刻
l 开发-水/溶剂
l 清洗-水/溶剂
l 确认，硫酸/双氧水（原样混合）
l 确认，HBr
l 温控开发
l 冲洗/烘干
Wet Station Features:
湿法刻蚀设备Wet Station特点：
All polypropylene construction(Self-extinguishing available-see below)
Accommodates the installation of any Laurell spin processor
Perforated wet-deck(easily removable)
Wet plenum
Exhaust Plenum with gauge
Isolated component/drawer below for heaters, pumps, vessels…
全聚丙烯构造（见下文的自灭火功能）
可兼容安装任何Laurell 旋涂机
有排孔的湿隔层（易于拆除）
潮湿的空间
标准规格的排气空间
被热水器，水泵，容器等隔离的组件/容器
Wet StationOptions:
湿法刻蚀设备Wet Station选项：
l Processor exhaust interlockcontrol(standard on some models)
l Heating&insitu material stirring
l Rinse to resistivity
l Drain diverter(s)
l Vacuum loading wand
l Wafer cassette stand
l Leak detection
l Light towers
l 排气联锁控制处理器（一些型号是标准的）
l 加热和原材料搅拌
l 抵抗力冲洗
l 排水转向装置
l 真空负荷棒
l 晶片盒座
l 检漏
l 轻塔
Advanced materials available if required
湿法刻蚀设备Wet Station可以根据要求采用更高级的材料
Better
更好的湿法设备Wet Station
WS-1000-CP5-meets SEMI S93 specification for fire safety in clean room applications. CP5 meets UL94 V-O fire classification. It has an excellent babance of physical properties, chemical resistancefire safety.
WS-1000-CP5 湿法设备Wet Station符合SEMI S93标准应用在消防安全和洁净空间等领域。CP5符合UL94 V-O 火灾分类标准。它具有优良的平衡的物理性能，耐化学药品性和耐火性。
Best
*的湿法设备Wet Station
WS-1000-CP7-D-a flame retardant polypropylene formulation who’s flame retardant characteristics meet the most rigorous FMRC 4910 testing standards for most aspects of flame retardation, self-extinguishing characteristicsburn-through. This advanced material also meets or exceeds test standards for low smoke generationminimal toxic by-products.
WS-1000-CP7-D湿法设备Wet Station的材料阻燃特性符合zui严格的FMRC 4910测试标准，满足多方面条件下的难燃性，自熄特点和*燃烧。这种*的材料也达到或超过产生低烟和zui小毒副产品的检测标准。
