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SBC-12 小型离子溅射仪
- 型号
- SBC-12
KYKY-EM3900型高性能扫描电子显微镜 KYKY-EM3200型数字化扫描电子显微镜 KYKY-3800B型全计算机控制扫描电子显微镜 KYKY-2800B型数字化扫描电子显微镜
北京中科科仪技术发展有限责任公司（简称中科科仪或KYKY）成立于2000年12月28日，地处中关村海淀园腹地，占地40亩，是集科学仪器、真空相关设备研制、开发、生产和经营为一体的综合性*。 公司前身是*北京科学仪器研制中心（原*科学仪器厂），始建于1958年。在数十年的发展历程中，公司以雄厚的综合实力，在电子光学、离子光学和真空物理的技术工程等领域取得了众多科研成果，多次荣获国家、*及相关部门奖励。 其中，成功研制出我国*台扫描电子显微镜、*台商品化氦质谱检漏仪、*台涡轮分子泵；在“两弹一星”、“正负电子对撞机”等一系列重大国家工程项目研制中做出了突出贡献。
详细信息
本仪器主要用于扫描电子显微镜样品镀覆导电膜（金膜），仪器操作简单方便，是配合中小型扫描电子显微镜制样*的仪器。
Ø 玻璃处理室：Φ100mm、高度130mm
Ø 试样台尺寸：Φ40mm可同时放6个样品杯
Ø 金靶尺寸：Φ58mm
Ø 真空系统：直联旋片真空泵2L/S
Ø 真空检测：皮氏计
Ø 真空保护：20Pa配有微量充气阀调节工作真空
Ø 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气进气口和微量充气调节
陈
