ALZ-6012-G1M-S日本CHUO中央精机ALZ-6012-G1M-S中央精机CHUO SEIKI平台
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PEAK放大镜2034-100
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面议製品資料
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説明
HG-VCR方式を採用した高精度、高剛性の自動ステージです。
精密ねじ仕様、ボールねじ仕様、ボールねじ 仕様スケール付があります。
カメラ、センサ、ワークなどの精密位置決め用途に広く利用いただけます。
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仕様
移動方向移動量ステージ面使用モータ分解能送りねじリード移動ガイド移動精度HV移動精度YP位置決め精度繰り返し精度ロストモーションモーメント剛性耐荷重質量zui高速度主要材質/表面処理原点センサリミットセンサ適合ケーブルスケール型式スケール分解能スケール精度
Z軸1方向 |
±12.5mm |
60mm×60mm |
PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相) |
0.002mm |
1mm |
HG-VCR(V溝とクロスローラ) |
真直度(水平�9�9垂直)0.002mm |
ヨーイング15sec、ピッチング25sec |
0.01mm |
±0.0003mm |
0.001mm |
ヨー剛性 0.1sec/N�9�9cm、ピッチ剛性 0.1sec/N�9�9cm、ロール剛性 0.1sec/N�9�9cm |
19.6N(2kgf) |
0.73kg |
10mm/s(5,000pps時) |
アルミ合金/黒アルマイト梨地 |
ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ |
ノーマルクローズ接点(ブレーク接点、B接点)動作、フォトセンサ |
ACB-STM2、ACB-STM3 |
GSI製マーキュリー(テープスケール、ケーブル3m) |
5μm~0.05μm |
±60nm/0.02mm |
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接続方法―接続ケーブルとコントローラ�9�9ドライバ―
センサ動作原理とタイミングチャート