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172nm简易照明装置Min-Excimer
是以被在平板显示器的光冲洗或者塑料的表面改革等的各种各样的制造过程使用的受激准分电灯为基础了的简易照明装置。
因为本体尺寸是A5尺寸和连镜小粉盒所以,根据不使用N2实用程序的简单的结构,能简便进行用台上水准的简易战胜的柔软的实验。
被简单的结构实现低价
因为不需要N2所以能在台上简便要使用、随身携带
波長照度照射エリア寸法ユーテリィティ
| 172nm |
| 10mW/cm2以上 |
| 80mm×50mm |
| 本体：W209mm×D148mm×H66mm 3.5kg 電源：W120mm×D210mm×H95mm 1.5kg |
| 電源：AC100～240V±10V、0.15kVA以上、50/60Hz オゾン排気 オゾン発生量 約15mg/min 必要排気風量 1～2m3/min |
※本製品をお使いの場合、必ず排気設備のある環境でお使いください。主要的用途
亲水化
出自理智的冲洗的有机物分解
出自濡湿性改进的粘接性提高
改革
甲烷分解,NOx分解
理智的氧化膜的形成
成膜
架桥、聚合、光定位
VUV干燥
带电除去
荧光体色度检查
煤气的激励
活性酸素、臭氧的形成
光CVD
