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离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器
■单晶硅电极在全球范围内拥有的应用记录，具有超低颗粒特性，避免了电极材料造成的金属污染风险。
■MP（脉冲调制）方法可有效地将离子传输至电极。静电中和性能
■电位摆动小，即使在 100 mm 的距离内也可使用，并且离子平衡在棒长度上几乎没有偏差
■离子发生状态和离子平衡由智能控制电路持续自动管理
■更换。 1/4 圈即可安装和拆卸 该型电极有助于减少维护工时
■ MP 方法的特点是电位波动非常小，从而简化了设置。较小的电位波动还可以有效地保持长期状态。控制标准内的离子平衡
。 ■杆的长度根据半导体前端工艺的 EFEM 设置
■紧凑型设计，内置 24V DC 驱动控制器
■全球范围内的高级支持网络
离子风棒 Aerobar 5635 5645MP 静电消除器
型号 5635 AeroBar MP
| 输入电压 | 24V 直流+/-10% |
|---|---|
| 输出电压 | 最大约13.5kv pp可调 |
| 安装距离 | 100mm 至 1000mm（无空气吹扫） |
| 离子发生方式 | 电晕放电方式 MP（脉冲调制）方式 调制频率 1 ～ 33 Hz |
| 离子平衡 | 自动平衡调整方法 <+/-10V 正下方 位置差异 <+/-10V （600 mm 距离） |
| 电极 | 单晶硅电极可更换 |
| 吹扫气体 | 清洁干燥空气或N2 |
| 最大吹扫压力 | 310Kpa |
| 臭氧量 | <0.05ppm（24小时积分值） |
| 信号输出 | 报警IO集电极开路输出 |
| 尺寸 | 高78mm x 深34mm x 长度450/600/850/1000/1150/1300/1450/1600/1750 /1900/2050/2200/2350mm 以下 |
| 外部的 | ABS树脂 |
