椭偏仪通过测量光在介质表面反射前后偏振态变化，获得材料的光学常数和结构信息，具有测量精度高、非接触、无破坏且不需要真空等优点。

1、根据研究或测试的材料特性来确定光谱范围，进一步选择适合光源的椭偏仪。对于透明材料，考虑关心的折射率光谱区域;对于短波吸收、长波透明材料，如果关心吸收区域折射率及膜厚可扩展到红外透明区域来先确定薄膜厚度，然后求解折射率。

 

2、入射角方式选择。椭偏仪多角度测量可以增加可靠性，但不是总有必要。多角度Z适用于以下几种场合：多层膜结构、吸收膜、各项异性膜、光学常数沿厚度梯度分布的膜等。

 

3、考虑测量准确性与重度性。椭偏仪重复性定义为仪器多次测量的结果的比较，比较容易定义与比较。一般的测准确性时将空气作为标准样品(没有其他理想的标准样品)。

 

4、比较分析软件。椭偏仪测量是一种非直接测量模式，数据需要拟合分析得来，所以分析软件的好坏将直接影响到分析结果。