EVG光刻机

掩模对准曝光机 光刻胶处理系统

EVG键合机

对准设备 晶圆键合机 直接键合设备 临时键合/解键合 金属键合设备

CMP 晶圆减薄抛光

晶圆关键尺寸测量

EVG纳米压印机

UV-NIL/SmartNIL紫外压印 纳米压印母版制作系统

膜厚仪

Thetametrisis膜厚仪 光学相干断层扫描 全自动同质膜厚测量系统 硬化涂层膜厚仪 Filmetrics膜厚仪

防震台

Herz TDI气浮式被动防震台 Herz AVI系列主动防震台 Herz 电镜隔振台 DAEIL DVIA-T主动防振台 Stefan Mayer主动消磁系统

晶圆厚度测量

硅片厚度测量仪 半自动晶圆厚度测量

应力测量

FSM应力仪 ilis应力仪

3D形貌仪/白光干涉轮廓仪

白光干涉仪 彩色共聚焦轮廓仪 Filmetrics 3D光学轮廓仪 白光干涉+共聚焦一体机 晶圆形貌和参数检测

光学镜头对准系统(定心仪)

片电阻测量仪

薄膜电阻测量仪

晶圆缺陷检测

全自动AOI系统 双2D AOI系统 LAZIN

等离子去胶

微波等离子清洗

椭偏仪

FilmSense 椭偏仪

台阶仪

4D 动态激光干涉仪

PhaseCam 6010 PhaseCam 4030

光学粗糙度测试仪

电容式位移传感器

Microsense 位移传感器

磁性材料检测设备

全自动测量机台