键合机是一种高度灵活的晶圆键合系统，可以处理从碎片到200mm的基板尺寸。该工具支持所有常见的晶圆键合工艺，例如阳极，玻璃粉，焊料，共晶，瞬态液相和直接法。易于使用的键合腔室和工具设计允许对不同的晶圆尺寸和工艺进行快速便捷的重新工具化，转换时间不到5分钟。这种多功能性非常适合大学，研发机构或小批量生产应用。本产品与大批量制造工具上的键合室设计相同，键合程序易于转移，可轻松扩大生产规模。

 

　　键合机的结构说明：

　　1、炉体：采用双层水夹层结构，炉壁温度不超过60℃，内外壁为不锈钢抛光。上、下法兰组焊成筒型结构，法兰平面开设密封槽。采用氟圈真空密封，并设水冷装置。炉体设有抽真空接口、充气接口、放气接口、真空压力表接口、真空规管接口、温度测量接口、电极法兰接口、冷却水进出接口等。

　　2、炉盖：采用双层夹层封头结构，内外壁为304不锈钢，炉盖上设有水冷不锈钢上压头、压头锁紧装置、炉盖导向装置、泄压阀、炉盖紧锁等装置。炉盖可方便的提起和安装。

　　3、炉底：采用双层水夹层结构，水冷不锈钢下压头、压力传感器、真空密封结构、液压缸、可调节高度位移传感器等。

　　4、炉架：由四根立柱与架台连接，上下承压板采用碳钢煮黑处理，横放在四根立柱上，采用M24螺母进行锁紧、固定。耐压强度高，光洁度及平衡度高。

　　5、压头：上、下压头采用高纯石墨块制作压成。配合陶瓷隔热片、云母隔热片与设备水冷压头组成一整套完备的结构设计。

　　6、真空获得系统：由一台机械泵以及高真空手动挡板阀，波纹管等组成。

　　7、真空测量系统：采用电阻真空计测量真空度。

　　8、液压系统：采用电动输入方式。由液压站配有进口比例阀、压力传感器、位移显示器、液压缸等相关液压装置，压力调节半自动化、可通过手动调节。仪表可设定自动调节压力，并能实现稳压、保压。

　　9、温控系统：采用日本岛电温控器配合固态继电器和K型热电偶形成闭环PID控温，控温精准，误差在1℃内。

　　10、水冷系统：由各种管道阀等相关装置组成，具有水压欠压、断水声光报警自动切断电源功能。

　　11、发热组件、隔热屏：发热组件采用氧化铝纤维加热模块的结构，方便模块化更新和维护，保温性能好、加热均匀、辐射面大、耐热冲击性好。保温层和发热分体，易维护和取装。

　　13、充气系统：由各种管道及阀门组成，并配有放气阀，充气管路上装有针阀。并配有奥托尼克斯压力变送器和日本进口CKD阀，能实现自动充放气功能，自动保压、稳压。