纳米压印机是一种非常灵活的压印设备。它可提供加热型纳米压印、UV紫外纳米压印以及真空纳米压印。模块化系统可根据特定需求轻松配置，体积小，容易存放，大可处理210mm圆形的任何尺寸印章和基材。该系统是手动装卸印章和模板，但所有处理器都是全自动的，软件用户可以*控制压印过程。

 

　　该工具支持多种标准光刻工艺，例如真空，软，硬和接近曝光模式，并可选择背面对准。此外，该系统还为多功能配置提供了附加功能，包括键对准和纳米压印光刻。纳米压印机提供快速的处理和重新安装工具，以改变用户需求，光刻和NIL之间的转换时间仅为几分钟。其先进的多用户概念可以适应从初学者到专家级别的所有需求，因此使其成为大学和研发应用程序的理想选择。

 

　　对于压印工艺，本产品允许基板的尺寸从小芯片尺寸到直径150毫米不等。纳米技术应用的配置除了可编程的高和低接触力外，还可以包括印章的释放机制。本产品专有的卡盘设计可提供均匀的接触力，以实现高产量的压印，该卡盘设计既支持软印章也支持硬印章。

 

　　优势：

　　1、对准选项；

　　2、可编程的PLC触屏界面；

　　3、分辨率优于10μm，产率优于99%；

　　4、纳米压印机同时适用于软模和刚性模板；

　　5、自动脱模，防止模板和基板损坏；

　　6、可压印不同尺寸的模板和基片，方便灵活。