影响纳米压痕试验的因素很多，主要影响因素可归纳为以下几种：

1.接触零点的确定

2.力和位移的测定包括环境波动的影响和磁场强度所引起的变化

3.卸载曲线的拟合

4.热漂移速率

5.由于表面粗糙度引起的接触面积变化

6.力,位移的校准值

7.试验设备的柔度

8.压头面积函数的校准值

9.由于试验设备的温度和最后一次校准后时间不确定度引起的校准漂移

10.试样表面与压入方向的不垂直度。