YM-RL-301/302/601日本ULVAC YM-RL-301/302/601/602/1201A罗茨真空泵机组
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YM-RL系列罗茨泵机组是多级罗茨式干泵、罗茨泵通过安装支架、接管配上控制箱、消音器等组合而成,用于生产、研究设备的真空排气。 优点:
用途:冷冻干燥、镀膜、真空钎焊炉、真空烧结炉、单晶炉、多晶炉、等离子刻蚀、气体回收系统等。
1:无油、干燥、清洁
2:在低温领域的均热化
3:大抽速,可以缩短排气时间
4:优良的耐腐蚀性
5:低噪音、低震动