CEMS烟气气体分析系统针对多晶硅工艺的具体情况，进行了优化设计和合理配置。

在太阳能多晶硅工艺中废气产生:

酸雾引入净化塔采用碱液喷淋处理，尾气由15m高排气筒排入大气。废气排放量15000m³/h， NO₂产生浓度为50-70mg/m³，经碱液喷淋吸收，排放速率0.018kg/h，NO₂排放浓度为15-20mg/m³。

产生的S_iC粉尘，采用旋风+高效滤筒除尘器处理，废气由15高排气筒排放，粉尘排放浓度低于30mg/m³，排放速率0.027kg/h，

ü     针对工艺中粉尘，设计了三级过滤系统，并配置加热反吹式过滤探头，确保气体分析仪能够稳定工作，测量精确；

ü     工艺中会产生水气，这对分析仪的检测带来很大影响，采用大容量减压过滤器和冷阱捕水技术相结合，除去样气中的水，保证分析仪的检测过程顺利进行；

ü     全部采样管道采用耐腐蚀的聚四氟乙烯管，使工艺中产生的大量的SO2和NOx，等腐蚀性气体既能得到精确的检测，同时保护整个分析系统不受损害，延长分析系统的使用寿命；

ü     仪器采用进口传感器，利用红外检测技术。检测精度高，稳定性能好。

ü     采样探头采用目前先进的内、外脉冲式振动反吹技术，*的快速拆卸设计使得维修方便，维护工作量很小。