六自由度并联微定位台P-SLC-24采用德国六自由度并联微纳平台hexapod提供六轴并联动力学纳米定位,具有更紧凑结构,更高刚性,更低的运动质量和更高的响应速度。

六自由度并联微定位台P-SLC-24采用模块化设计,其尺寸和强度可以适应不断变化的要求,从几厘米到几乎一米的行程都可提供,并具有纳米分辨率。

六自由度并联微定位台P-SLC-24规格参数分辨率<1nm
大负载：1000g (10N)
大真空度:10^-11mbar
可提供非磁性材料制造（根据用户要求）
大垂直载荷Fv:10N

大水平力Fh:5N

定位器尺寸:> 110 x 90 x 68 mm3

重量:≈ 300 ~2000 g

行程范围：

x- 79 ~ 119 mm

y -45~119 mm

z -≤ 12 mm
Θx：≤31 °
Θy：≤ 27°
Θz：≤42 °

带纳米传感器-S闭环

小增量（x，y，z）：1nm

小增量（Θx,Θy,Θz）：1urad

重复精度(xyz全行程）：±200 nm

重复精度(Θxyz全行程）：±10urad

重复精度（1mm行程@xyz)：±15 nm

材料和真空可选项目

纳米级距离编码传感器

非磁性材料（NM）
-高真空HV (10-6 mbar), -超高真空UHV / -UHVT (10-11mbar)
更多六轴并联定位平台应用案例