自动溅射喷金仪LUXORAu是一种先进的全自动溅射设备，可在1~100nm的厚度范围内实现涂覆细颗粒金涂层,帮助样品获得好的SEM成像质量。
自动溅射喷金仪的A²技术在工艺气体中产生受控等离子体。在等离子体中，离子通过高压被加速，并被引导到金靶上。因此，好的金原子团簇从靶中释放出来，并以精确的方式覆盖样品，从而形成极其均匀、薄且均匀的金层。
自动溅射喷金仪适合SEM成像应用,可用于高达10万倍放大率的扫描电镜成像应用，该镀膜机旨在改善二次电子发射。因此，显微镜的探测器将获取更多高分辨率成像细节。另一个优点是减少了光束穿透，从而显著提高了边缘分辨率。此外，这可防止敏感样品受损。
自动溅射喷金仪规格参数
空气或氩气镀金
最大容量：7 xØ12.5 mm或3 xØ25 mm短桩
平均涂层时间：5分钟（基于10纳米金涂层）
额外的真空和干燥模式
低能双级泵
真空和干燥模式：7Pa至150Pa（可连续选择）
处理时间：1至600分钟（可连续选择）
金层厚度：1至100纳米（连续可选）
工艺室：硼硅酸盐玻璃Ø100 mm x 150 mm高
内爆防护罩：120毫米×150毫米高
真空接头：DN 16 KF
气体供应：空气或氩气（0.6bar）
尺寸：340 x 340 x 290（毫米，宽x深x高）
体重：11公斤