孚光精仪 品牌
经销商厂商性质
上海市所在地
标准型 | 高级型 | 客户订制型号 | |
|---|---|---|---|
| 激光微加工技术 | 光刻胶激光增材 | 光刻胶激光增材 | 客户选择 |
| 激光 | 单/双波长飞秒激光 | 近红外、绿光、紫外激光 | 客户选择 |
| XY特征大小 | 300nm | 150nm（典型值200nm） | STED可选 |
| ***佳 XY分辨率 | 700nm | 300nm | 取决于系统方案 |
| ***佳竖直分辨率 | 1.5um | 0.5um | |
| Layer distance | 0.5-1µm | 0.05–3µm | |
| ***大样品高度 | 1mm | 10mm | |
| 构建体积 | 10x10x0.5mm | 60x60x10mm | |
| ***大工作范围 | 60x60x5mm | 100x100x35mm | 客户选择 |
| ***小表面粗糙度，Ra | 50nm | 30nm | 取决于方案 |
| 扫描速度 | 0.1-1 mm/s | 0.1-100 mm/s | |
| 自动聚焦 | —— | 包括 | 客户的选择 |
| 功率控制 | 集成激光衰减器 | 集成激光衰减器 | 激光衰减器 |
| 振动去除 | 被动技术 | 隔振台 | 客户选择 |
