孚光精仪 品牌
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上海市所在地
光刻掩膜版photomask是微电子领域高精度光刻掩膜板,光罩、光掩模和X射线成像感光板,采用卤化银感光物质,也可用于同步加速器设备中的布拉格衍射X射线断层摄影和X射线放射成像,性能不低于Agfa(Millimask)和柯达HR-P,TE板。
感光物质寿命:12个月
成像观察寿命:18个月。
光刻掩膜版具有高分辨率,高耐久性和*异的乳剂层与玻璃基底的粘附性能,具有2.5微米的摄像分辨率。
光刻掩膜版标准尺寸***406×300mm,玻璃衬底厚度为2.5mm。 所有光刻掩膜版都配有防晕涂层,我们也可根据客户要求定制不同尺寸的掩膜版。
光刻掩膜版特性
平均敏感度,ISO 负性过程: 反转过程: | 0.02 0.04 |
对比度不小于 | 5 |
***大密度不小于 | 3 |
***大感光波长 | 525nm |
感光光谱范围 | 400-565nm |
雾密度不大于 | 0.02 |
分辨力能力 | 3,000mm-1 |
加工后乳液层强度 | 0.9kg力 |
乳液层形变温度 | 55℃ |
订购规格:
63x63mm-30片/包
51x254mm-12片/包
76x76mm-30片/包
102x102mm-30片/包
102x127mm-25片/包
127x355mm-12片/包
63x63mm尺寸包装图
102x127mm规格的包装图
180x240mm及其以上尺寸包装图
处理和处理建议
使用深绿色滤光片(透射区域-530nm及以下)在间接非光化光中开封,加工。 加工溶液温度-20±2℃。 储存条件:湿度65%和12-15摄氏度。
VRP材料制作掩膜版的建议工艺参数 | ||
负过程 | 溶液温度 | |
曝光 | ||
显影 | 研制在蒸馏水中稀释的浓缩VRP显影剂1:5,4-5min | 20 |
冲洗 | 水3分钟 | 17±2 |
固定 | 固定器5-10分钟 | 20 |
洗涤 | 水3分钟 | 17±2 |
***终洗涤 | 水用润湿剂(Agepon)1min | 17±2 |
干燥 | 慢气 | 20±4 |
冲销过程 | ||
曝光 | ||
显影 | 在蒸馏水中稀释的浓缩VRP显影剂1:1.7,4.5min | 20 |
冲洗 | 水洗3分钟 | 17±2 |
漂白 | 漂白,1.5分钟 | 20 |
冲洗 | 水洗3分钟 | 17±2 |
增亮 | 增亮剂3分钟 | 20 |
冲洗 | 水冲洗5分钟 | 17±2 |
照明 | 500W灯,距离乳液70厘米,1分钟 | |
第二显影 | 稀释在蒸馏水中的显影浓缩VRP显影剂1:5-3分钟 | 20 |
冲洗 | 水冲洗1分钟 | 17±2 |
固定 | 固定器,2分钟 | 20±4 |
冲洗 | 水洗3分钟 | 17±2 |
***终洗涤 | 带润湿剂的水(Agepon)1min | 17±2 |
干燥 | 慢气 | 20±4 |
用于X射线层析成像和放射照相术的VRP光刻掩膜版材料处理方案 | ||
程序 | 化学制品 | 温度 |
曝光 | ||
显影 | 柯达RP X-OMAT显影,5分钟 | 20 |
洗涤 | 2分钟 | 17±2 |
固定 | 柯达RP X-OMAT LO固定器,5分钟 | 20 |
洗涤 | 水10分钟 | 17±2 |
干燥 | 慢气 | 20±4 |