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显微分光光度计MicroSpectrophotomete是多功能显微薄膜测厚测量仪,结合显微镜测量薄膜吸收率,透过率,反射率以及薄膜荧光。这款显微分光光度计通过测量薄膜反射率快速测量薄膜厚度,测量薄膜光学常量(n &k)以及薄膜thick film stacks。
显微分光光度计应用
测量薄膜吸收率,透过率
测量化学薄膜和生物薄膜测量
光电子薄膜结构测量
半导体制造
聚合物测量
在线测量
光学镀膜测量
整套显微分光光度计的组成是:光栅光谱仪(200-1100nm)+显微镜目镜 适配器+软件+显微镜(可选)。其中目镜适配器包含镜头,可增加光的收集。标准的40X物镜可做到测量点直径约200微米。*高倍数的物镜的测量点*小。
显微分光光度计软件
这款薄膜测试仪配备专业的仪器控制,光谱测量和薄膜测量功能的软件,具有广阔的应用范围。该薄膜厚度测试仪软件能够实时采集吸收率,透过率,反射率和荧光光谱,并且能够能够快速计算出结果。
对于吸收率/透过率模式的配置,所有的典型参数如 A, T可快速计算出来。其他的非标准参数,如signal integration也能测量出来。
对于反射率测量,该薄膜厚度测试仪软件能够精确测量膜层小于10层薄膜厚度(《10nm到100微米), 光学常量(n & k)。
显微分光光度计软件的显示
显微分光光度计和自动晶圆传输加载系统的连用-用于晶圆薄膜测量
显微分光光度计-具有成像和光谱对应测量功能
显微分光光度计的样品成像功能
显微分光光度计标准参数
型号 | 波长范围 | 测量参数 | 测量薄膜厚度范围 | 测量点大小 | 可选项 |
MSP100 | 250 to 1000 nm | D - Thickness; R - Reflection T - Transmission N - Refractive Index; K - Extinction Coefficients Geometry of features | Up to 25um | Configuration 1: 8µm /40µm /100µm Or Configuration 2: 5µm /25µm /50µm | Transmission Motorized Stage Motorized Z Focus Heating/Cooling Stage Special Sample Holders Fluorescence Attachment Other spot sizes Polarizing optics Thickness standards |
MSP300 | 400 to 1000 nm | 20nm to 50um | |||
MSP400 | 1000 to 1700 nm | 50nm to 50um | |||
MSP450 | 400 to 1700 nm | 20nm to 50um | |||
MSP500 | 250 to 1700 nm | Up to 50um |