显微分光光度计MicroSpectrophotomete是多功能显微薄膜测厚测量仪,结合显微镜测量薄膜吸收率,透过率,反射率以及薄膜荧光。这款显微分光光度计通过测量薄膜反射率快速测量薄膜厚度,测量薄膜光学常量(n &k)以及薄膜thick film stacks。
显微分光光度计应用
测量薄膜吸收率,透过率
测量化学薄膜和生物薄膜测量
光电子薄膜结构测量
半导体制造
聚合物测量
在线测量
光学镀膜测量
整套显微分光光度计的组成是：光栅光谱仪（200-1100nm)+显微镜目镜 适配器+软件+显微镜（可选）。其中目镜适配器包含镜头，可增加光的收集。标准的40X物镜可做到测量点直径约200微米。*高倍数的物镜的测量点*小。

显微分光光度计软件  
这款薄膜测试仪配备专业的仪器控制，光谱测量和薄膜测量功能的软件，具有广阔的应用范围。该薄膜厚度测试仪软件能够实时采集吸收率，透过率，反射率和荧光光谱，并且能够能够快速计算出结果。
对于吸收率/透过率模式的配置，所有的典型参数如 A, T可快速计算出来。其他的非标准参数，如signal integration也能测量出来。
对于反射率测量，该薄膜厚度测试仪软件能够精确测量膜层小于10层薄膜厚度（《10nm到100微米）， 光学常量（n & k)。

显微分光光度计软件的显示

显微分光光度计和自动晶圆传输加载系统的连用-用于晶圆薄膜测量

显微分光光度计-具有成像和光谱对应测量功能

显微分光光度计的样品成像功能
显微分光光度计标准参数