高精度六自由度平台是六轴定位平台hexapod,适合高精度六自由度定位应用。
高精度六自由度平台特色
行程范围75mm
负载高达200kg
角行程范围+/-22度
绝对编码器
高精度六自由度平台典型应用
仪器科学与技术
航空航天
光学
计量
天文学
半导体等
高精度六自由度平台规格参数
行程范围Tx,Ty：+/-75mm
行程范围：Tz： +/-50mm
行程范围：Rx,Ry:+/-20度
行程范围：Rz: +/-22度
分辨率Tx,Ty,Tz: 0.5um
分辨率Rx, Ry,Rz:  2.5urad
重复精度Tx,Ty,Tz: +/-0.5um
重复精度Rx,Ry,Rz:+/-2.5urad
速度Tx, Ty: 6mm/s
速度：Tz:  4mm/s
速度Rx Ry: 1.5度/秒
速度Rz : 2.25度/秒
负载: 200kg
刚度 XY:5N/um
刚度Z: 32N/um
工作温度：0-50℃
位移平台： dia289mm
中间通孔：dia 120mm
自身重量：34kg
线缆长度：3m
供电要求：110-240VAC