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其工作原理是利用光栅绕射所制成的量测系统俗称光学尺，其光源经过瞄准透镜而投射到游动刻度尺和主刻度尺，藉其光波产生Moire条纹明暗讯号之原理，由光电管接收其信号，经放大及修正后即可显示出来，其系统及输出信号情形。
操作：
1、量测前准备：
（a）检查空气轴承压力是否足够
（b）安装工件
2、测头选择及安装：
（a）将适当之测头装于Z轴承接器
（b）检视Z轴是否会自动滑落（否则应调整红色压力平衡调整阀）
（c）锁定各轴之适当位置
3、量测操作：
（a）开启处理机电源
（b）启开打印机开关
（c）参考操作手册，选择所需功能之指令
（d）进行量测，并读出量测值
4、完成后注意事项：
（a）Z轴移至原来位置后，锁定
（b）X,Y轴各移至*，锁定
（c）关电源及压力阀
（d）取下测头
（e）并作适当的保养
