加热型电容薄膜规，高精度真空计

INFICON SKY CDG045D 真空计是高精度总压强测量和控制的上佳选择. 为达到优异的讯号稳定性和可重复性, 将 CDG045D 真空计的温度控制于45 °C. 全量程范围从100 毫乇至 1000 乇, 配有全部常用的法兰型式和 fieldbus 接口, 和提供线性的 0 至 10 伏与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用超纯抗腐蚀的氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优点是讯号稳定性好, 从大气压恢复速度快, 预热时间短和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 成本效益好的压强传感器, 用于要求高的各项真空应用中.

优点

■ 低 CoO （拥有成本）, 50% 快速预热, 能效高, 功耗低

■ 易整合于系统中, 宽量程范围, 法兰和接口, 型号有标准和带两个设点的

■ 简易的一键操作或遥控讯号调零指令, 零点偏离可调

■ 诊断端口用于快速维修和维护

■ 两年保修期, 采用*的加热概念和传感器保护, 真空计使用寿命长

■ 由于超卓

的讯号稳定性和可重复性, 即使在严酷的等离子应用条件下仍可长期使用, 无需重新校准

■ 承诺和标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

加热型电容薄膜规，高精度真空计

用途

■ 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体生产过程

■ 化学和腐蚀性真空过程

■ 常用薄膜和真空过程

■ 用于按标准监测测试仪器的参考传感器

■ 用于跟踪性测量的传输标准